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(CCI-2110)潔凈室多級碰撞采樣器
  • (CCI-2110)潔凈室多級碰撞采樣器
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更新時間:2025-03-17 21:00:07

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  潔凈室多級碰撞采樣器 
 

多級碰撞采樣器將懸浮顆粒按照粒徑大小分級采集到硅片、鋁膜及其它平面介質(zhì)上進行掃描電鏡或其它技術(shù)分析潔凈室污染。

 

儀器特點:

l         6級碰撞采樣

l         切割直徑0.05、0.10.31.0、3.010µm

l         采集顆粒于不同介質(zhì)上進行粒徑、形狀及化學(xué)成分分析

l         噪音低無污染采樣泵

l         采樣流量:3 L/min                                                                                                                                    3 liters per minute

l         尺寸HxD230 x 300 x 240 mm

電源:115V2A

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