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美國穆格MOOG伺服閥
美國穆格MOOG伺服閥
這類閥的優(yōu)點是線性度好，滯回小，動態(tài)性能高。
滑閥式二級方向伺閥
下圖所示為一種動圈式二級方向伺服閥。它主要由動圈式力馬達、噴嘴擋板式氣動放大器、滑閥式氣動放大器、反應(yīng)彈簧等組成。噴嘴檔板氣動放大器做前置級，滑閥式氣動放大器做功率級。
這種二級方向伺服閥的工作原理是：在初始狀態(tài)，左右兩動圈式力馬達均無電流輸入，也無力輸出。在噴嘴氣流作用下，兩擋板使可變節(jié)流器處于全開狀態(tài)，容腔3、7內(nèi)壓力簡直與大氣壓相同。滑閥閥芯被裝在兩側(cè)的反應(yīng)彈簧5、6推在中位，兩輸出口A、B與氣源口P和排氣口O均被隔開。
當(dāng)某個動圈式馬達有電流輸入是（例如右側(cè)力馬達），輸出與電流I成正比的推力Fm將擋板推向噴嘴，使可變節(jié)流器的流通面積減小，容腔6內(nèi)的氣壓P6升高，升高后的P6又經(jīng)過噴嘴對檔板產(chǎn)生反推力Ff。當(dāng)Ff與Fm均衡時，P6趨于穩(wěn)定，其穩(wěn)定值乘以噴嘴面積Ay等于電磁力。另一方面，美國派克PARKER柱塞泵P6升高使閥芯兩側(cè)產(chǎn)生壓力差，該壓力差作用于閥芯斷面使閥芯克制反應(yīng)彈簧力左移，并使左邊反應(yīng)彈簧的緊縮量增加，產(chǎn)生附加的彈簧力Fs，方向向右，大小與閥芯位移X成正比。當(dāng)閥芯挪動到一定位置時，彈簧附加作用力與7、3容腔的壓差對閥芯的作用力到達均衡，閥芯不在挪動。此時同時存在閥芯和擋板的受力均衡方程式：
Fs=KsX=(P6-P5)Ax
Ff=P6Ay=KiI
式中 KS----反應(yīng)彈簧剛度
Ax----閥芯斷面積
Kf----動圈式力馬達的電流增益。
在上述的調(diào)理過程中，左側(cè)的噴嘴擋板一直處于全開狀態(tài)，能夠以為P5=0，代入后整理上述兩式可得
X=(AxKi/AyKs)*I
閥芯位移與輸入電流成正比。當(dāng)另一側(cè)動圈式馬達有輸入時，經(jīng)過上述相似的調(diào)理過程，閥芯將向相反方向挪動一定間隔。
當(dāng)閥芯左移時，氣源口P與輸出口A連通，B口通大氣；美國穆格MOOG伺服閥閥芯右移時，P與B通，A口通大氣。閥芯位移量越大，閥口啟齒量也越大。這樣就完成了對氣流的活動方向和流量的控制。
這類閥采用動圈式馬達，動態(tài)性能好，缺陷是構(gòu)造比擬復(fù)雜。