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EMS 975高真空蒸鍍鍍膜儀(樣本制備)

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  • 海德創業(北京)生物科技有限公司
  • 2017-05-10 17:03:40
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【簡單介紹】

EMS 975高真空蒸鍍鍍膜儀(樣本制備)Large Chamber Turbo Evaporator碳棒頭的模式化設計,極大地增加了用途,使用起來更方便靈活,新方法可準備新的樣品。多用途設計,它可用于TEM和X-Ray分析中的覆膜,以及SEM中的導電涂層。

【詳細說明】

EMS 975高真空蒸鍍鍍膜儀(樣本制備)(Large Chamber Turbo Evaporator)

    高真空蒸鍍鍍膜儀(樣本制備)碳棒頭的模式化設計,極大地增加了用途,使用起來更方便靈活,新方法可準備新的樣品。多用途設計,它可用于TEM和X-Ray分析中的覆膜,以及SEM中的導電涂層。

    EMS975,可以進行碳、金屬的蒸鍍和濺射鍍膜的選擇。可以制備碳支持膜、TEM的覆膜、碳/金屬蒸鍍等等。

    渦輪分子泵在EMS975中作為標準配置,此泵作為機械真空泵的后級泵,真空為全自動控制,可以達到蒸鍍需要的較高真空度。

 

特點:

  • 分子渦輪泵
  • 全自動抽氣系統
  • 潔凈真空
  • 可變的出氣控制
  • 脈沖蒸發按鈕
  • 碳棒頭在儀器中作為標準件,這是一個“快速釋放頭”
  • 樣品抽屜放置系統
  • 碳和碳/鉑蒸鍍
  • 方便多用戶操作

優點:

  • 容易操作
  • 均勻的樣品涂層
  • 碳棒或碳絲蒸發
  • 旋轉樣品臺
  • 菜單驅動式鍵盤輸入
  • 快速釋放頭方便選擇不同的頭
  • 約束的排氣控制

儀器參數:

儀器尺寸

450mm W x 350mm D x 175mm H

重量

28Kg

工作腔室

硼硅酸鹽玻璃165mm Dia x 125mm H

安全鐘罩

聚碳酸酯

碳  源

直徑3.2mm碳棒

旋轉樣品臺

直徑為60 mm,傾斜0-45o

真空計范圍

ATM - 1x10-5 mbar

操作真空

1x10-2 to 1x10-5 mbar

安培計

0-50 Amps

低電壓選擇

0-5V-15V-25V,除氣電流,0-25 Amps

渦輪分子泵

100L/Second,需要一個50L/m旋轉機械泵

電源

230V 50Hz (包括泵zui大電流8 安培)

另:EMS 975S半導體晶圓高真空蒸發鍍膜儀,主體就是EMS 975,特別之處在于可蒸鍍8英寸晶圓),或者是達到140mm x 140mm樣本大小的樣本。

訂購信息:

貨號

產品名稱

91090

EMS 975 Large Chamber Turbo Evaporator complete with carbon source

91090-S

EMS 975S Turbo Evaporator for Semi Conductor Wafer Coating

91005

Rotary Vacuum Pump needed to backup the turbo pump

 

耗材和替換件訂購:

貨號

產品名稱

91077

Carbon Rods (6.15mm Dia.), 12/pack

91033

Glass Cylinder

91034

"L" Gaskets

91004-S

EMS 105 Aperture Cleaning Head

92060

EMS 190 Low Angle Shadowing

 

    
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