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KLA薄膜電阻測量技術電阻率測試儀包括接觸（4PP）和非接觸（EC）方法。
Filmetrics的R50系列方塊電阻測量儀器可測量沉積在各種基材上的導電片和薄膜，跨越10個數量級范圍電阻率，包括：
半導體晶圓基板
玻璃基板
塑料（柔性）基材
PCB圖案特征
太陽能電池
平板顯示層和圖案化特征
金屬箔
二、電阻率測試儀主要功能
l 技術規格
測量范圍：5m Ohm/sq - 5M Ohm/sq;
測量精度： +/- 1%；
重復度： 小于 0.2%；
樣品圖中無*的測量點位，自定義測量Recipe，可線性、矩形、
極坐標以及自定義等。
Model | Description |
R50-4PP | 四探針測試 自動XY移動臺-100mm*100mm 可實現直接100mm晶圓方塊電阻mapping測量 可放置直徑200mm晶圓樣品 |
R50-EC | 非接觸渦流測試 自動XY移動臺-100mm*100mm 可實現直接100mm晶圓方塊電阻mapping非接觸測量 可放置直徑200mm晶圓樣品 |
R50-200-4PP | 四探針測試 自動XY移動臺-200mm*200mm 可實現直接200mm晶圓方塊電阻mapping測量 |
R50-200-EC | 非接觸渦流測試 自動XY移動臺-200mm*200mm 可實現直接200mm晶圓方塊電阻mapping非接觸測量 |
三、應用
支持廣泛的測量，包括但不限于以下各項：
金屬膜厚度、基板厚度、方塊電阻、電阻率、電導率、摻雜濃度等。
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