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Cascade Microtech 的 M150測量平臺是一款結(jié)構(gòu)簡單、高精確度、多功能、及高性價比的150mm基準的探針臺；采用了一種模塊化設計，提供了眾多的配置可能性；M150 可提供三種預配置的探針臺，均針對您的應用及預算而優(yōu)化；您可以通過確定Z適合自己當前需要的 M150 模塊來設計*的探針臺，或?qū)ψ约含F(xiàn)用的 M150 進行升級以滿足未來的測量需求。

Cascade M150探針臺

用于實現(xiàn)靈活性和不打任何折扣之精度的新標準

Cascade Microtech 的 M150測量平臺是一款結(jié)構(gòu)簡單、高精確度、多功能、及高性價比的150mm基準的探針臺，解決了一系列的測量難題。該探針臺采用了一種模塊化設計，提供了眾多的配置可能性，旨在滿足諸如單切晶片至 150mm 晶圓、模塊、印刷電路板組件和微流體芯片等多種器件的精密電測量的需要。M150 可提供三種預配置的探針臺，均針對您的應用及預算而優(yōu)化。您可以通過確定自己當前需要的 M150 模塊來設計*的探針臺，或?qū)ψ约含F(xiàn)用的 M150 進行升級以滿足未來的測量需求。

主要特點

1. 結(jié)構(gòu)簡單、多功能；

2. 平臺配置可滿足DC、RF和亞微米測量；

3. *的模塊化設計可根據(jù)客戶的需要配置和升級；

4. 量程大、可配探針配件；

標準平臺規(guī)格參數(shù)：

基座	基本尺寸	含升高板的尺寸	面積	Z軸可移動范圍
標準平臺	675mm x 675mm	825mm x 675mm	1960 cm²	5.5mm
多功能平臺	825mm x 675mm	847mm x 758mm	2700 cm²

X-Y-θ平臺	XY范圍	zui小步長	θ范圍	晶圓范圍
真空運行平臺	155mm x 155mm	3μm	+/- 60°	70mm
標準平臺	155mm x 155mm	2μm	+45°（CCW） , - 90°（CW）	250mm
快速運行平臺	155mm x 155mm	1μm	+45°（CCW） , - 90°（CW）	275mm

DUT支架	卡盤	基底	平整度	三軸接頭	絕緣層	附加卡盤
150mm卡盤	150mm真空卡盤	晶圓，陶瓷	＜10μm	Yes	＞100GΩ	2個獨立的卡盤，且還有一個附加卡盤
PCB	150mm寬支架	PCB，移動裝置	NA	NA	NA	NA

顯微鏡支架	移動范圍（XY）	Z方向	zui小步長
臂式支架	＞150mm x 150mm	NA	NA
LAHS顯微鏡支架	150mm x 150mm	可選，zui大為100mm	2μm

應用

*的應用靈活性使得M150能滿足DC和RF測量、器件和晶圓表征測試（DWC）、失效分析（FA）、亞微米探測、MEMS和光學工程測量；M150也能用作一個靈活的探頭卡，實現(xiàn)wafer級的可靠性應用（WLR），能同時配備多達20個探針座。

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