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上海皓越真空設備有限公司
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SIP-臥式氧壓燒結爐
  • SIP-臥式氧壓燒結爐
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貨物所在地:上海上海市

更新時間:2025-02-12 21:00:07

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ITO靶材燒結爐就是ITO靶材就是氧化銦和氧化錫粉末按一定比例混合后經過一系列的生產工藝加工成型,再高溫氣氛燒結(1600度,通氧氣燒結)形成的黑灰色陶瓷半導體。

一、主要特點:

1、爐殼以國家壓力容器建造標準為要求建造設計,并通過國家*檢驗認證.

2、真空和氣氛燒結實現自動化,安全穩定。設備選用國內外廠家產品,質量可靠。

3、爐膛材料使用高純多孔氧化鋁陶瓷材料砌成,燒結環境純 凈,材料性能優異燒結溫度可提高到1850℃,并在純氧的生產氣氛 下安全使用。

4、爐殼整體水冷結構,結構緊湊合理。可在真空、氣氛燒結兩 種燒結條件單獨優化使用。

5、進出氣方式做適當的調整,可以適應氮氣,氧氣,氬氣等氣氛的生產條件。

6、根據爐殼設計標準等級,調整適當結構真空、氣氛燒結的 獨立使用,達到兩臺單獨爐子的使用效果。

二、主要參數:

技術參數

PHSms-30-1700

PHSms-60-1700

PHSms-120-1700

PHSms-200-1700

PHSms-450-1700

有效空間(mm)

200×200×300

300×300×600

300×300×900

400×400×1200

500×500×1500

裝爐重量(Kg)

20KG

50KG

100KG

300KG

500KG

抽氣速率

15min內到5Pa

20min內到5Pa

25min內到5Pa

25min內到5Pa

25min內到5Pa

溫度均勻性

±5℃

±5℃

±7.5℃

±7.5℃

±7.5℃

加熱功率

30Kw

60 Kw

120 Kw

200 Kw

450 Kw

控溫方式

一帶控溫

二帶控溫

三帶控溫

三帶控溫

三帶控溫

zui高設計壓力

1 .2MPa

額定工作壓力

1 .0MPa

zui高設計溫度

1700℃

額定工作溫度

1600℃

極限真空度

10Pa

工作氣體

氧氣

可根據客戶需求定制。
,。

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