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CKD小型流量傳感器FSM3系列可在塵埃或水飛濺的環境下使用
1.具有相當于IP65的防護等級。
2.即使在有塵埃的環境、維護時和清掃時濺到水滴也可以放心使用。 
潔凈規格
1.標準備有防發塵包裝（P70）、禁油規格（P80）
2.可根據裝置的級別區分使用。
排氣適用
流路中不使用樹脂，適用于禁止排氣的工序。
高精度?高響應
重復精度：±1％F.S.以內
顯示精度：±3％F.S.以內
響應時間：50msec
可進行雙向流體測量
有效縮短生產間隔時間
可任意設定流向進行測量。
1臺可測量5種氣體
氣體種類切換功能
1.空氣、氮氣、氬氣、二氧化碳、混合氣體。
2.（混合比Ar:CO2（8:2）1臺流量傳感器即可對應。
3.可通過操作本體的按鈕進行氣體種類切換。
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