| 產(chǎn) 品 說 明 |
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MF-U
176 系列 — 高倍率多功能測量顯微鏡
偏光觀察：
觀察過濾后只有一個(gè)方向振動(dòng)的光。用于觀察具有特
殊光學(xué)特性的材料，如礦石和液晶。
微分干涉對(duì)比觀察：
在檢測金屬、液晶和半導(dǎo)體表面的微小劃痕和臺(tái)階時(shí)
十很有效。
暗視場觀察：
擋住直射到物體上的光，只觀察散射光，通過高對(duì)比
度能觀察到在亮視場看不到的劃痕和粉末。
亮視場觀察：
zui普通的觀察方式，直接觀察從工件表面反射的光。
特點(diǎn)
? 亮視場、大視野觀察可得到清晰、無閃
爍的正像。
? 使用長工作距離的目鏡，放大倍率可達(dá)
20X (總倍率：4000X)。
? 和高級(jí)檢測顯微鏡一樣采用校正光學(xué)系
統(tǒng)(FS 系列)。
? 亮／暗視場觀察，偏光觀察和微
分頭干涉對(duì)比 (DIC) 觀察。
? 使用立柱兩側(cè)的微調(diào)／粗調(diào)旋鈕
進(jìn)行調(diào)焦和測量。
? 調(diào)零開關(guān) (X 軸和 Y 軸) 也位于操作臺(tái)手柄
的附近。
? 帶有鏡頭旋轉(zhuǎn)盤。
? 增強(qiáng)型目鏡可有效緩解眼睛疲勞。
技術(shù)參數(shù)
觀察圖像 : 正像
光管 : Siedentoph 型 (可調(diào)瞳距：51 -
76mm), 1X 光管鏡頭、
雙目目鏡 ( 俯角：30o),
十字投影法、帶有TV 插板、
光通比、(目鏡 /TV 插板：50/50)
目鏡 : 10X (視場直徑：24mm),
可選 : 15X, 20X
轉(zhuǎn)盤 (選件): 手動(dòng)或電動(dòng)旋轉(zhuǎn)盤
物鏡 (選件): 從 1X - 100X 的 M/BD Plan Apo 物鏡
(詳見 384 頁)
輪廓照明
? 光源 : 鹵素?zé)襞?(12V, 50W)
? 光學(xué)系統(tǒng) : 帶有可調(diào)整光圈的遠(yuǎn)心照明系統(tǒng)
? 功能 : 光強(qiáng)度可調(diào)、無級(jí)亮度調(diào)整
表面照明
? 光源 : 鹵素?zé)襞菡彰鬟x件(光纖冷光照明)
? 光學(xué)系統(tǒng) : 帶有可調(diào)整光圈的科勒照明系統(tǒng)
? 功能 : 光強(qiáng)度可調(diào)、無級(jí)亮度調(diào)整
顯示裝置 :
? 軸數(shù) : 2 軸或 3 軸
? 分辨率 : 0.001mm / 0.0005mm / 0.0001mm/
.0001" / .00005" / .00001"
? 功能 : 調(diào)零、方向轉(zhuǎn)換、
數(shù)據(jù)輸出 (通過 RS-232C 接口)
電源 : 100/110/120/220/240V AC, 50/60Hz
重量 65.5kg (505B, 1010B),
69.5kg (2010B),
130kg (2017B),
138kg (3017B),
144kg (4020B)
505B: 50 x 50mm
XY 工作臺(tái)選擇(行程范圍)
1010B: 100 x 100mm
2010B: 200 x 100mm
2017B: 200 x 170mm
4020B: 400 x 200mm
MF-UB3017B
XY 工作臺(tái)移動(dòng)范圍：300 x 170mm
(帶有可選旋轉(zhuǎn)盤、目鏡和光纖照明)369
選件
378-857: 15X 目鏡套裝 (視場范圍：16mm)
378-858: 20X 目鏡套裝 (視場范圍：12mm)
––––––: 物鏡 (詳見 384 頁)
378-018: 手動(dòng) BF 旋轉(zhuǎn)盤
378-116: 電動(dòng) BF 旋轉(zhuǎn)盤
176-211: 手動(dòng) BF/DF 旋轉(zhuǎn)盤
378-210: 電動(dòng) BF/DF 旋轉(zhuǎn)盤
––––––: 分劃板 (詳見 366 頁)
178-092: 偏振器
378-076: 用于 100X, SL80X, SL50X 目鏡的微分干涉
對(duì)比裝置
378-078: 用于50X, SL20X 目鏡的微分干涉對(duì)比裝置
378-079: 用于 20X 目鏡的微分干涉對(duì)比裝置
378-080: 用于 10X, 5X 目鏡的微分干涉對(duì)比裝置
12AAA643: ND2 型彩色濾光片
12AAA644: ND8 型彩色濾光片
12AAA645: GIF 型濾光片
12AAA646: LB80 型彩色濾光片
375-054: 0.5X 相機(jī)轉(zhuǎn)向鏡 (帶有 C-mount 適配器)
970441: C-mount 適配器
513667: 鹵素?zé)襞?(24V, 50W)
12BAB345: 鹵素?zé)襞?(長壽型、24V, 50W)
517181: 鹵素?zé)襞?(24V, 100W)
12BAD602: 鹵素?zé)襞?(高亮度型、24V, 100W)
176-308: 防振臺(tái)架
176-309: 安裝臺(tái)架
375-056: 讀數(shù)尺
12AAA165: 鏡頭清洗工具
12AAA846: 腳踏開關(guān)
照明元件 (詳見 373 頁)
176-315: 鹵素照明裝置 (12V, 100W)
176-316: 鹵素照明裝置 (12V, 150W)
176-343: 雙光纖照明裝置
12AAG806: GIF 型彩色濾光片 (用于 176-315)
12AAG807: LB80 型彩色濾光片 (用于 176-315)
固定和工作臺(tái)附件 (詳見 363 頁)
176-107: 帶有夾鉗的支架 *
172-378: 帶有夾鉗的 V 型塊 *
(zui大工件直徑：25mm)
172-197: 用于 TM-510 的旋轉(zhuǎn)式中心架 *
(zui大工件直徑：80mm)
176-305: 帶有微調(diào)旋鈕的旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)，適用于
505B/1010B/1020B 型號(hào)
176-306: 帶有微調(diào)旋鈕的旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)，適用于
1720B/1730B 型號(hào)
*1020B 型號(hào)需要與固定適配器(176-310) 配合使用
1720B/1730B 型號(hào)需要與固定適配器(176-304) 配合使用
QM-Data200
2D 數(shù)據(jù)處理器
(詳見374 頁)
12AAA807: 連接電纜套裝
Focus pilot FP-05
輔助聚焦系統(tǒng)
(詳見372 頁)
Vision Unit
基于PC 的視像測量系統(tǒng)
(詳見376 頁)
設(shè)備選型
單位：mm
尺寸
性能參數(shù)
型號(hào) (XY 工作臺(tái)尺寸) 505B 1010B 2010B 2017B 3017B 4020B
貨號(hào) MF-UA 176-567* 176-568* 176-569* 176-570* 176-571* 176-572*
MF-UB 176-587* 176-588* 176-589* 176-590* 176-591* 176-592*
MF-UC 176-573* 176-574* 176-575* 176-576* 176-577* 176-578*
MF-UD 176-593* 176-594* 176-595* 176-596* 176-597* 176-598*
XY 工作臺(tái)移動(dòng)范圍 50 x 50mm 100 x 100mm 200 x 100mm 200 x 170mm 300 x 170mm 400 x 200mm
Z 軸移動(dòng)范圍 150mm 150mm 150mm 220mm 220mm 220mm
調(diào)焦方式 手動(dòng)調(diào)焦 (粗調(diào)焦：10mm/rev、微調(diào)焦：0.1mm/rev)
測量方法 線性編碼器 (2 軸型：X / Y 軸、3 軸型：X / Y / Z 軸)
分辨率 (可轉(zhuǎn)換) 0.001mm / 0.0005mm / 0.0001mm / .0001" / .00005" / .00001"
測量精度 (20oC 時(shí)) XY 軸：(2.5+0.02L)μm, L 無負(fù)載測量長度 (mm), JIS B 7153
指示精度 (20oC 時(shí)) Z 軸：(5+0.04L)μm, L 為測量長度 (mm)
浮動(dòng)功能 帶有快速斷開功能的 X 和 Y 軸
XY 工作臺(tái)臺(tái)面尺寸 280 x 280mm 280 x 280mm 350 x 280mm 410 x 342mm 510 x 342mm 610 x 342mm
載物玻璃有效尺寸 180 x 180mm 180 x 180mm 250 x 150mm 270 x 240mm 370 x 240mm 440 x 240mm
旋轉(zhuǎn)功能 — — — ±5o (左) ±5o (左) ±3o (左)
zui大工件重量 10kg 10kg 10kg 20kg 20kg 15kg
zui大工件高度 150mm 150mm 150mm 220mm 220mm 220mm
* 為區(qū)分交流電源電壓，在貨號(hào)后加上以下后綴(如：176-567A):
A 適于UL/CSA, D 適于 CEE, E 適于 BS, DC 適于中國、K 適于 EK，無后綴適于JIS/100V
設(shè)備型號(hào) MF-UA 型 MF-UB 型 MF-UC 型 MF-UD 型
觀察類型 亮視場 (BF) 亮視場 (BF) 亮／暗視場 (BF/DF) 亮／暗視場 (BF/DF)
測量系統(tǒng) X 和 Y 軸 (2 軸) X, Y 和 Z 軸 (3 軸) X 和 Y 軸 (2 軸) X, Y 和 Z 軸 (3 軸) |
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銷售分布在北京 天津 石家莊 秦皇島 太原 呼和浩特 沈陽 大連 丹東 長春 哈爾濱 上海 南京 連云港 杭州 合肥 福州 廈門 南昌 濟(jì)南 青島 鄭州\ 武漢 長沙 廣州 深圳 南寧 成都 重慶 貴陽 昆明 拉薩 西安 蘭州 西寧 滿洲里 銀川 烏魯木齊 寧波 桂林 海口 廣東 廣西、浙江 福建 江蘇 安徽 江西 湖北 湖南 云南 貴州 四川 青海 陜西、甘肅 寧夏 河南 河北 山東 山西 遼寧 吉林 黑龍江 內(nèi)蒙古 新疆 西藏 海南等地
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