LA儀器幾乎無需樣品制備，提供了分析固體樣品的能力。當與ICP-MS儀器結合使用時，該技術檢出限可達ppb及ppb以下。LA-ICP-MS可用于整體分析、深度剖面分析、元素/同位素制圖或定量分析。

激光燒蝕(LA)是一種直接固體取樣技術，使用激光脈沖從感興趣的樣品中去除少量質量(pg～fg)。LA與電感耦合等離子體質譜(ICP-MS)的結合為固體樣品的分析提供了非常有吸引力的技術優勢，包括幾乎不需要樣品制備，高精度的測量，以及與其他原子光譜方法相比*的靈敏度(低至ppb水平)。LA-ICP-MS分析還提供元素和同位素信息。根據所采用的激光取樣方法，LA-ICP-MS可以用于傳統的整體分析，也可以用于空間解析分析，如元素/同位素制圖和深度剖面分析。