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上海普譽科貿有限公司

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CD300CD300 等離子表面處理設備

  • 公司名稱：
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  • 上海普譽科貿有限公司
  • 2018-04-15 03:02:27
  • 上海市
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【簡單介紹】

CD300 等離子表面處理設備

【詳細說明】

 產品介紹：

  • 反應艙：
        材料：鋁
        有效尺寸：300 x 300 x 300mm
        容積：27升
        艙門：裝有可視窗口
        托盤：3個。尺寸：205 x 260 x 40mm
  • 真空度測量：
        皮拉尼真空計（利用電阻絲隨溫度的變化而電阻隨之變化的原理來測量的，而電阻絲溫度的變化又與其周圍氣體的熱導率有關）
  • 真空泵：
       旋片式真空泵；20m3 每小時。
  • 頻射發生器：
        0~300w可調，100KHZ發生器
  • 控制系統：
        觸摸屏操作，PLC控制系統
        PLC可實現下列功能：
             1、自動控制反應過程；
    ?       2、根據處理材料設定不同的處理工藝流程；
    ?       3、測定真空泵壓力、抽真空時間、充氣速度、工作壓力、處理時間、溫度、頻射發生器輸入電壓等指標；
    ?       4、監測所有的運行指標，保證在設定范圍之內；
    ?       5、 設定操作、維護密碼。
  • 電源：
         380V AC、三相、50Hz、40A.
  • 反應氣體：
        一個氣體輸入端口，含氣體流量控制器（MFC）；根據用戶需要，可擴展
  • 氣體輸入：
        直徑1/4英寸（0.645厘米）管道；輸入壓力：1Bar.
  • 尾氣排放：
        直徑28mm 輸出端口。
  • 安全性能：
        急停開關；真空泵保護鎖；高溫保護鎖；CE安全認證。

可選件：

  • 頻射發生器：2.45GHZ, 13.56MHZ 
  • 多個氣體輸入管道。
  • 根據客戶工藝要求制作的軟件程序
  • 根據客戶要求制作的托盤。
  • 輥輪式載料系統。 
  • N2 Purge. 
    
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