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接觸式測量儀與激光位移傳感器

接觸式測量裝置一般會存在這樣的一個問題，當其測量頭超過一定尺寸后，就無法測量下圖所示的凹槽深度。相比而言，激光位移傳感器的激光光點尺寸僅有 ø2 µm 或稍大，因此可以執行微觀測量。

1

共焦原理 LT-9000 系列

建議用于zui為精細的測量

 

2

三角測量法原理 LK-G5000 系列

建議在需要較大間距時使用

 

3

2D 三角測量法原理 LJ-V7000 系列

 

建議當目標尺寸超出 LT-9000 系列 的掃描范圍時使用

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共焦原理 LT-9000 系列

建議用于zui為精細的測量

 

2

三角測量法原理 LK-G5000 系列

建議在需要較大間距時使用

 

3

2D 三角測量法原理 LJ-V7000 系列

 

建議當目標尺寸超出 LT-9000 系列 的掃描范圍時使用