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[供應(yīng)]萊寶分子泵機(jī)組
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  • 萊寶分子泵機(jī)組
貨物所在地:
上海上海市
產(chǎn)地:
LEYBOLD德國(guó)萊寶公司
更新時(shí)間:
2020-03-25 21:00:11
有效期:
2020年3月25日 -- 2020年9月25日
已獲點(diǎn)擊:
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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

分子泵機(jī)組

隨著真空技術(shù)和真空應(yīng)用的發(fā)展,新的真空問(wèn)題不斷涌。在這種情況下只是為客戶提供真空元部件已越來(lái)越不能滿足客戶的要求。
萊寶公司作為一個(gè)專(zhuān)業(yè)的真空設(shè)備供應(yīng)商,始終把為廣大客戶提供真空解決方案視為己任。在提供具有*秀品質(zhì)的真空元部件的同時(shí),還為客戶度身定做,提供既能滿足真空要求,又Z經(jīng)濟(jì)的Z佳解決方案--真空泵組。

詳細(xì)介紹

隨著真空技術(shù)和真空應(yīng)用的發(fā)展,新的真空問(wèn)題不斷涌。在這種情況下只是為客戶提供真空元部件已越來(lái)越不能滿足客戶的要求。
    萊寶公司作為一個(gè)專(zhuān)業(yè)的真空設(shè)備供應(yīng)商,始終把為廣大客戶提供真空解決方案視為己任。在提供具有*秀品質(zhì)的真空元部件的同時(shí),還為客戶度身定做,提供既能滿足真空要求,又的*解決方案--真空泵組。
    RUTA 羅茨泵組的抽速由250到32000米3/小時(shí),可以分為兩極泵組和多級(jí)泵組,極限真空度可達(dá)10-4mbar,乃至更高。除標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品外,根據(jù)不同工藝的需要,還可以為客戶專(zhuān)門(mén)設(shè)計(jì)定制應(yīng)用于某些特殊用途的泵組,并在系統(tǒng)中加裝各種附件,如冷凝器、粉塵過(guò)濾器、真空計(jì)、真空閥、壓力控制元件,溫度控制元件等。另外,還可以耕具工藝過(guò)程,設(shè)計(jì)可實(shí)現(xiàn)全程自動(dòng)控制的電控柜。


    萊寶的TUBOVAC系列陶瓷軸承渦輪分子泵有五種規(guī)格,抽速自50至1100升/秒,極限真空度為<10-10mbar。
    其主要特點(diǎn)為:
    - 陶瓷軸承為脂潤(rùn)滑,無(wú)維護(hù)運(yùn)行時(shí)間長(zhǎng)。
    - 允許任意角度安裝。
    - 有水冷和風(fēng)冷兩種選擇。
    - 對(duì)H2的壓縮比大。
    - 無(wú)油真空泵,可用來(lái)產(chǎn)生潔凈的超高真空。

 


 TW系列復(fù)合分子泵
抽速: 70 ~ 1600 升 / 秒
極限真空度: 10 - 9 mbar
zui大允許前級(jí)壓強(qiáng): 6 ~ 14mbar
主要特點(diǎn)有:
- 轉(zhuǎn)子葉片為一次成型,消除了葉片應(yīng)力,使得前級(jí)耐壓高達(dá) 14mbar ,并能抵抗短暫的大氣沖擊。
-高效的風(fēng)冷系統(tǒng),使其在絕大多數(shù)工作條件下無(wú)需冷水。
- 變頻器與泵體的一體化設(shè)計(jì),避免了連接變頻器帶來(lái)的不便。
- 模塊化的設(shè)計(jì)為用戶提供了多種選擇。
- 結(jié)構(gòu)緊湊,可方便地安裝到復(fù)雜的系統(tǒng)中。
- 可以任意角度安裝。
- 螺旋式的拖動(dòng)級(jí)耐粉塵能力強(qiáng)。
- 軸承為油脂潤(rùn)滑,無(wú)維護(hù)運(yùn)行時(shí)間長(zhǎng)。
- 無(wú)油真空泵,可用來(lái)產(chǎn)生潔凈的高真空和超高真空。
- 可在軸承需要維護(hù)時(shí)提前預(yù)警。
- 通過(guò)通訊接口可以與掌上電腦, PC 或 PLC 聯(lián)絡(luò),以讀取分子泵工作狀態(tài)的參數(shù),以及儲(chǔ)存單元的運(yùn)行記錄;并可根據(jù)需要對(duì)某些參數(shù)進(jìn)行修改,如頻率等。
- 高前級(jí)耐壓降低了對(duì)前級(jí)泵的要求,使得系統(tǒng)總體造價(jià)降低。

                  

 新一代數(shù)字化控制,五軸定位的磁懸浮分子泵
MAG 1500C/CT , MAG2000C/CT , MAG2200C/CT , MAG 2800C/CT , MAG 3200C/CT
抽速: 1500l/s ~ 3200l/s
•  五軸定位雙端磁懸浮軸承系統(tǒng),自平衡性能好全無(wú)油,耐粉塵、抗氣流沖擊。
•  轉(zhuǎn)子采用高強(qiáng)度鋁合金,一次高速銑削成形,應(yīng)力小,強(qiáng)度高,耐沖擊,高溫變形量小,轉(zhuǎn)子葉片不易卷曲、打碎;轉(zhuǎn)子*運(yùn)行溫度可高達(dá) 120 ℃ 。
•  轉(zhuǎn)子及定片均采用萊寶技術(shù)的 KAPLAR 涂層
•  較鍍鎳的轉(zhuǎn)子具有更強(qiáng)的防腐蝕性能,適用于抽除腐蝕性強(qiáng)的工藝氣體;
•  降低氣流與轉(zhuǎn)子葉片摩擦產(chǎn)生的熱量,降低轉(zhuǎn)子運(yùn)行溫度,有利于延長(zhǎng)轉(zhuǎn)子壽命;
•  葉片鍍 KAPLAR 的轉(zhuǎn)子較鍍鎳的轉(zhuǎn)子重量更輕。
•  保護(hù)軸承為陶瓷軸承,壽命長(zhǎng)( >600 次),無(wú)需更換保護(hù)軸承。
•  高真空端連接采用 ISO-F ,連接螺栓強(qiáng)度高,充分保障安全。
•  智能化電源,無(wú)需 UPS 。
•  帶拖動(dòng)級(jí),前級(jí)耐壓在 2mbar 以上。
•  分子泵運(yùn)行溫度可調(diào)節(jié),使其充分適應(yīng)不同工藝制程。
•  的數(shù)字控制技術(shù)
•  運(yùn)行速度、溫度可設(shè)置;
•  運(yùn)行數(shù)據(jù)記錄存儲(chǔ),提供多達(dá) 180 條運(yùn)行信息;
•  磁懸浮軸承及泵運(yùn)行溫度采用數(shù)字化控制,信號(hào)處理速度快,系統(tǒng)反應(yīng)時(shí)間短
•  轉(zhuǎn)子受氣流沖擊或雜物不均勻沉積在葉片而使轉(zhuǎn)子動(dòng)平衡變化時(shí),磁場(chǎng)補(bǔ)償反應(yīng)時(shí)間短;
•  在氣流長(zhǎng)時(shí)間( 2 分鐘以上)過(guò)大,而使泵負(fù)載過(guò)高,發(fā)熱量過(guò)大時(shí),泵速會(huì)快速自動(dòng)調(diào)節(jié),使泵溫下降到正常水平。
•  控制器與泵無(wú)識(shí)別性,可互換。
•  免維護(hù)。
典型應(yīng)用:
適用于
•  所有半導(dǎo)體主要制程:刻蝕、化學(xué)氣相沉淀及離子注入
•  科研領(lǐng)域
•  鍍膜
另外,萊寶公司磁懸浮分子泵系統(tǒng)中還包括單軸定位的 TURBOVAC340M , MAG400 和 MAG 1000 。


         

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