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德國(guó)BMT WLI Linik干涉儀特點(diǎn)及技術(shù)參數(shù)
德國(guó)BMT WLI Linik干涉儀特點(diǎn)：
•區(qū)域表面的形貌測(cè)量；
•數(shù)秒內(nèi)快速測(cè)量；
•粗糙和光滑表面都可測(cè)量；
•測(cè)量結(jié)果不受樣品的顏色和材料影響；
•產(chǎn)品堅(jiān)固耐用。
德國(guó)BMT WLI Linik干涉儀技術(shù)參數(shù)：
•光源 LED
•測(cè)量范圍 （mm) 150
•垂直分辨率（nm） 1
•橫向分辨率（μm） ＞0.2
•測(cè)量面積 （μm） 90×70
•工作距離，約（mm) 0.3
•光斑尺寸，約（μm) 0.95
•圖像尺寸（Pixel） 1～10
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