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高精度溫度傳感器其形為薄膜鉑電阻，是用真空沉積的薄膜技術把膜濺射在陶瓷基片上。膜厚在2um以內，用玻璃燒結料把Ni(或Pd)引線固定，經激光調阻制成的薄膜元件。
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