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總評
        奧林巴斯半導體自動檢查顯微鏡MX61A支持300mm硅晶圓檢查及分析。實現了顯微鏡觀察中所需操作的自動化及電動化，具有使用1臺顯微鏡即可進行檢查及分析的靈活性和擴展性。MX61A采用的UIS 2*無限遠光學系統，提高了缺陷檢測能力。高品質的UIS 2物鏡實現忠實的色彩再現，暗視野觀察時的亮度也提高至該公司原產品的4倍左右。通過采用新方式的自動對焦；（AF）實現了檢查及分析作業的效率化。配備有與物鏡的倍率和觀察方法切換產生聯動的、用于調節出*亮度及對比度的自動調光功能。此外，AF方面采用了對焦精度及速度更出色的多點對焦方式，從而提高了對焦時的穩定性。具有電動載物臺、數碼相機及深紫外線觀察系統等多種擴展性系統配置。

對應檢查需求的搭配組合

        靈活地應對不斷變化的檢查需求，這就是檢查引擎（Inspection-Engine）。
        作為核心對MX61A系統全體進行控制的是操作單元。預先設置的觀察條件可由操作員（觀察者）隨時調用，也可以多人共享?？梢赃x擇適應了使用環境的菜單的操作單元和對應各種觀察方法的自動對焦單元，提供了更高水準的檢查環境。
        

                                               操作單元“OPERATOR（操作員）”操作畫面

適應使用環境、可以分開使用的操作單元

        操作單元備有三個操作畫面，觀察者高效率的操作顯微鏡。

    ·   網羅觀察的基本操作的“OPERATOR（操作員）”畫面 
    ·   更高級操作的“ENGINEER（工程師）”畫面
    ·   zui多可設置六個觀察條件，可隨時調用復雜條件設置的“FUNCTION（功能）”畫面

設置zui合適的觀察條件

        與物鏡選擇、觀察方法切換連動的亮度光圈（AS），以及物鏡之間的同一焦點校正、DIC延遲調節等均可通過操作單元觸摸面板進行設置。操作單元有三個“USER（用戶）”設置，可由多位操作員（觀察者）共享。

可以觸摸屏操作的手控開關
        配備了觸摸屏操作的手控開關，可以在檢查時執行選擇物鏡和觀察方法等多種操作。只要選擇觀察方法，就能得到基于登錄條件的zui合適的觀察影像。自動對焦的追蹤、單次拍攝的切換、對焦的細微調節、DIC延遲調節、亮度調節和交換樣本時的載物臺退出均可以執行。

強大的缺陷檢查能力

        采用了新穎的光學系統（UIS2），特別增強了明視場、暗視場的性能，從而提高了辨別和確認缺陷的能力。明視場圖像的色溫*化，實現了容易誤檢的中性顏色的再現，暗視場圖像的亮度約提高了四倍（與本公司原有產品比較）。

自動調節*亮度

        物鏡選擇和觀察方法切換連動，自動地調節亮度光圈。提高了觀察速度并減輕疲勞。

抑制影像中心偏移的UIS2物鏡

        在觀察視場狹窄的數碼影像中，為了不讓觀察對象偏離視場，高倍率物鏡的偏心精度提高了2倍。極大地減少了切換物鏡時產生的圖像中心的偏移。

        在深紫外線到可視、近紅外線觀察中發揮高性能的UIS2物鏡系列產品，與各種觀察單元組合，可以在一臺顯微鏡上進行明視場、暗視場、微分干涉、熒光、近紅外線、深紫外線等觀察。
        觀察方法的切換非常簡單，只要從明視場、暗視場、選件鏡子單元三個位置選擇就可以。

實現對人和環境都沒有危害的自動化

        符合SEMI（Semiconductor Equipment and Materials International）S2-0706（有關安全的基準），S8-0705（有關人體工程學的基準）和CE標識（歐洲強制性認證）等的標準。符合人體工程學和安全對策等，高水準的確保了可靠性。

        備有2種能以舒適姿勢觀察的傾斜鏡筒?？梢愿鶕猛具x擇雙目部傾斜角度由水平0°到42°的、變化范圍大的MX-SWETTR型號，或是目視和拍攝影像可同時觀察的U-SWETTR-5型號。

        傾斜觀察筒傾斜角／光路分割

全自動半導體檢查顯微鏡 MX61A 規格