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       現今,原子熒光光譜儀無論從硬件還是操作軟件方面都已經做到簡單和實用,但儀器使用及維護細節仍特別值得注意,否則也極易造成熒光強度不穩定的現象發生。所以進行原子熒光光譜儀的維護要考慮兩個方面，下面我們來仔細說明一下。
　　1.氣路
　　外路氣體進入儀器后分為屏蔽氣和載氣兩路。載氣流量降低時,不能將反應物充分帶入原子化器。表現為熒光強度低且不穩定。常見原因有:
　　(1)流路系統管路接頭密封不嚴；
　　(2)汽液分離器上端或原子化器下端硅膠管老化、皸裂；(3)由于使用時間較久,儀器氣路系統的穩壓閥或電磁閥密封不嚴導致載氣泄露而壓力降低；(4)還可能因酸液倒流而腐蝕氣路,腐蝕物導致載氣流量降低甚至無載氣輸出。處理方法:用戶可直接查漏更換硅膠管或密封墊或讓專業維修人員將氣路系統卸下,返廠維修,重新校準載氣流量后安裝。
　　2.原子化器
　　原子化器是待測元素形成原子化的部分。當載氣與已形成氫化物的待測元素組成氬氫混合物進入原子化器后,由點火爐絲點燃形成氬氫焰,高溫下完成待測元素的原子化。由于原子化器爐芯為石英玻璃制成,使用后其出口處容易形成積垢,造成測量值高并且不穩定,檢測結果重現性差。此時,可將原子化器整體拆下,小心卸出石英爐芯,置于15%硝酸溶液內浸泡24h后純水清洗即可重新安裝使用。