原子熒光光譜儀對原子化器的要求與原子吸收光譜儀基本相同。但所用的火焰與AAS的不同，主是因為在通常的AAS火焰中，熒光猝滅嚴重，必須用Ar稀釋的火焰。當用氫化物發生法時，直接使用Ar氣氛下的石英加熱方法進行原子化。
1.原子熒光光譜儀的原子化器性能主要考慮的因素
原子化效率高；
低的輻射背景和背景閃爍；
原子熒光猝滅效應低；
被測元素的原子在光路中有較長的停留時間；
原子化效率穩定，記憶效應小，操作簡單；
使用成本低。
2.原子熒光光譜儀的原子化器的主要類型
火焰原子化器；
電熱原子化器；
電感耦合等離子體；
石英管原子化器；
微波等離子體；
輝光放電等離子體；
3.石英爐原子化器是一種適合于低溫火焰的簡單原子化器.主要特點:
結構簡單；
抗腐蝕能力強；
記憶效應小；
使用壽命長；
制作加工方便廉價等特點。
4.原子熒光光譜儀的原子化器爐芯結構
內氣----氫化物蒸汽、氬氣、氫氣
外氣----氬氣，作用如下：
1.防止氫化物被氧化，提高原子化效率
2.防止熒光猝滅
3.保持原子化環境的相對穩定
在更換或清洗爐芯時要注意不要打碎，另外氣管不要接錯，載氣接內管。爐絲要盡量和外管平齊。
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