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X射線熒光光譜儀（以下簡稱XRF）是一種可以對多種元素進行快速、非破壞性測定的儀器，其工作原理可表述為：待測樣品受X射線照射后，其中各元素原子的內殼層（K、L或M殼層）電子被激發逐出原子而引起殼外電子躍遷，并發射出該元素的特征X射線（熒光）；通過測定特征X射線的波長（或能量）和強度，即可進行待測元素的定性和定量分析的光譜分析儀器。

波長色散型X射線熒光光譜儀(WD-XRF)，是用晶體分光而后由探測器接收經過衍射的特征X射線信號。如果分光晶體和控測器作同步運動，不斷地改變衍射角，便可獲得樣品內各種元素所產生的特征X射線的波長及各個波長X射線的強度，可以據此進行定性和定量分析。該儀器產生于50年代，由于可以對復雜體系進行多組分同時測定，受到觀注，特別在地質部門，先后配置了這種儀器，分析速度顯著提高，起了重要作用。

隨著科學技術的，在60年代初發明了半導體探測器以后，對X-熒光進行能譜分析成了可能。能譜色散型X熒光光譜儀(ED-XRF)，用X射線管產生原級X射線照射到樣品上，所產生的特征X射線(熒光)直接進入半導體探測器，便可以據此進行定性分析和定量分析。

由于普通能量色散X熒光采用低功率X射線管，又采用濾光片扣除背景和干擾，其背景偏高，分辨率偏小，使得應用范圍受到限制，特別是在輕元素的分析受到限制。隨之X射線偏振器的誕生，產生了一款新型的能量色散X熒光光譜儀，既偏振式能量色散X熒光光譜儀ED(P)-XRF，再加上SDD探測器的使用，不僅提高了(相對使用正比計數管和Si(PIN)探測器的儀器)的分辨率，免去Si(Li)探測器使用液氮冷卻的繁瑣和危險，彌補了原來普通能量色散X熒光的輕元素檢出限高，分辨率差的缺陷，又使得(相對波長色散X熒光用戶)購買和使用X熒光儀器的成本大大減低，這使得偏振式能量色散X熒光光譜儀ED(P)-XRF在分析領域的迅猛發展，越來越受到廣泛關注。