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測試方法：挑選典型元素不同濃度范圍的樣品，連續激發10個點，以數據的RSD評價儀器的精密度。

需檢驗元素及濃度范圍：

b：重復性

儀器穩定后，在儀器佳工作條件下，連續激發10次，測量某個低合金鋼標準物質GBW01328~GBW01333（或GBW01211~GBW01216）中代表元素的含量，計算出平均值和相對標準偏差即重復性。

c：穩定性的檢定

儀器開機穩定后，激發某個低合金鋼標準物質GBW01328~GBW01333（或GBW01211~GBW01216）對被測元素進行測量。在4小時內，間隔15分鐘以上，重復6次測量（期間不再標準化）。計算出平均值和相對標準偏差即穩定性。

d：再現性

再現性也就是儀器的穩定性，國標規定須測試4個小時內的再現性。