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 三氯化銦生產(chǎn)制備裝置：整體設(shè)備由電爐、手套箱、控制柜、真空系統(tǒng)組成。

1. 真空管式電爐爐腔直徑125mm、發(fā)熱段長300mm、
2. 端面采用水冷、發(fā)熱元件采用高品質(zhì)硅碳棒，表面發(fā)熱溫度1400℃、爐腔zui高溫度可達到1200℃、工作溫度1000℃、結(jié)構(gòu)為開啟式，
3. 可以對中打開，方便石英管清洗和更換，采用K型熱電偶，智能溫控儀表控制，帶30段程序控溫，可以任意設(shè)定恒溫時間，升溫速率等參數(shù)，PID調(diào)節(jié)，控溫精度1-2℃。

4.功率不小于12KW。三相四線制供電。

• 100mm，管壁厚2.5-3mm，外形結(jié)構(gòu)為T型結(jié)構(gòu)，水平部分長度600mm，垂直部分600mm。
• 150℃-300℃，當(dāng)反應(yīng)到定時間后，在加熱到600℃，使三氯化銦產(chǎn)生升華，此時再通入含少量氯氣的氮氣，使反應(yīng)更充分，保持定時間后，開始通入氮氣，降溫。