一、UVW平臺介紹

1、這是一種可以實現(xiàn)以平面上任意一點為中心，進(jìn)行旋轉(zhuǎn)運動的裝置，并可沿著任意的方向平移。
2、此平臺和視覺CCD糾偏系統(tǒng)對接在一起，可以很快完成高精度的糾偏工作，重復(fù)定位精度一般可達(dá)±1μm；

UVW平臺和以前的xyθ平臺相比，有以下幾點不同：
1、控制精度高于xyθ平臺；
2、UVW平臺可以平面上任意一點為中心做旋轉(zhuǎn)運動（包括無限遠(yuǎn)）；而xyθ平臺由于僅僅依靠一個電機(jī)的轉(zhuǎn)動控制，所以旋轉(zhuǎn)中心必須是固定在平臺上某處（θ電機(jī)連接處），且必須隨平臺一同運動。
3、基于第二點的區(qū)別，顯然UVW平臺是需要一個絕對坐標(biāo)系作為參考系，其旋轉(zhuǎn)中心才有意義；而xyθ平臺則必須是一個隨平臺動的坐標(biāo)系作為參考系，這樣控制計算方法便不一樣了。

UVW平臺工作模式如下圖：

二、視覺對位計算方法

簡單說明一下視覺對位和運動控制思路：
1、通過UVW平臺供應(yīng)商提供的說明書，找到機(jī)械參數(shù)，得到UVW三個軸的初始坐標(biāo)（基于UVW平臺原點坐標(biāo)系）；
2、通過視覺標(biāo)定方法，確定相機(jī)坐標(biāo)系到UVW平臺坐標(biāo)系的轉(zhuǎn)換矩陣；確定標(biāo)志物模板基于UVW平臺原點坐標(biāo)系的坐標(biāo)值（x_m, y_m）；
3、通過相機(jī)得到標(biāo)志物模板位置和待糾偏標(biāo)志物之間的x、y、θ偏移量（基于UVW平臺原點坐標(biāo)系）；
4、按照上圖公式，輸入三個軸初始坐標(biāo)，設(shè)置旋轉(zhuǎn)中心為(0,0)，輸入θ偏移量，可得到UVW三軸新的坐標(biāo)值，以及待糾偏物體的新的坐標(biāo)，以及三個電機(jī)對應(yīng)的給進(jìn)量A1、A2、A3；
5、輸入上一步求得的UVW三軸新的坐標(biāo)值，另外通過上一步求得的待糾偏物體的新的坐標(biāo)，計算得此時待糾偏物體到模板點位置的x2、y2偏移量；輸入x2、y2偏移量，則可以得到三個電機(jī)對應(yīng)的給進(jìn)量B1、B2、B3；
6、將5和6步獲取的三個電機(jī)的給進(jìn)量對應(yīng)相加，分別得到對應(yīng)電機(jī)給進(jìn)量C1、C2、C3，并用此給進(jìn)量驅(qū)動對應(yīng)電機(jī)即可。即是，將運動過程拆解，變成平移和旋轉(zhuǎn)部分，分別計算電機(jī)給進(jìn)量。

三、基于與伺服控制技術(shù)相互兩全的高性能控制平臺