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原子熒光光譜儀利用惰性氣體氬氣作載氣，將氣態氫化物和過量氫氣與載氣混合后，導入加熱的原子化裝置，氫氣和氬氣在特制火焰裝置中燃燒加熱，氫化物受熱以后迅速分解，被測元素離解為基態原子蒸氣，其基態原子的量比單純加熱砷、銻、鉍、錫、硒、碲、鉛、鍺等元素生成的基態原子高幾個數量級。

原子熒光光譜儀主要由三個部分組成，即激發光源、原子化器和檢測系統,

一、激發光源
激發光源是原子熒光光譜的主要組成部分，以脈沖方式供電的空心陰極燈在原子 熒光光譜法中得到非常廣泛的應用。
無電極放電燈也是原子熒光分析中的重要光源，由于沒有電極，因此必須放在諧振腔 中用微波來激發，使用較為麻煩。

二、原子化器
適用于原子熒光光譜分析的原子化器具有下列特點：
原子化效率高，物理或化學干擾 少，在測量波長處具有較低的背景發射，激發線的穩定性好，不含有高濃度的滅劑，在光路中原子有較長的壽命。

·火焰原子化器
空氣一乙炔火焰是原子吸收分析中比較理想的火焰原子化器，但是由于它有強烈的 燃燒反應，因此具有很強的光譜背景，嚴重影響到原子熒光分析法的檢出限，而氬氫火焰 具有較低的背景發射，能夠得到很好的檢出限，但是火焰溫度太低，只能用于簡單樣品的分析。因此，原子熒光的使用受到一定的限制。
·氫化物法原子化器
近幾年，氫化物發生一原子熒光法得到了較快的發展，這種方法是基于在含As、 Sh、Bi、Se、Te或S11的酸性溶液中加入硼氫化鉀，使上述元素形成氫化物，當氫化物引入 氬氫火焰被原子化時，可以得到很高的靈敏度。但是能夠進行氫化物發生的元素較少。

三、檢測系統
由于原子熒光的譜線比較簡單，因此大多數原子熒光光譜僅是非色散型的，為了防止 實驗室光線的影響，光電轉換裝置大都采用目盲型光電倍增管。