Fastmicro 環境落塵顆粒實時監控儀（PFS）

Fastmicro 環境落塵顆粒實時監控儀（PFS），專為潔凈室顆粒沉積速率測量而研發，支持秒級間隔的數據采集，精準測量 0.5 um 以上顆粒。結合直觀易用的軟件系統，幫助客戶實現從單純空氣監測向表面潔凈度監測的跨越式升級，為工藝流程優化和潔凈度持續改進提供科學依據。

產品特點：

• 數據輸出及可視化：符合 ISO 14644-17 標準

• 高通量檢測：可檢測低至 0.5 um 顆粒

• 快速：10 秒完成 2 英寸面積檢測

• 定量：適用于生產與研發環境的驗證與監測

生產過程中的一致性測量

快速: 秒級連續監測

定量: 適用于生產與研發環境的驗證與監測

易操作: 操作員簡單培訓即可使用

精準: 高分辨率測量（數量、時間線、位置、尺寸）

一致性: 可重復的客觀測量結果

高吞吐量: 現場實時分析

監測顆粒沉積速率（DPRL）

Fastmicro 環境落塵顆粒實時監控儀（PFS）采用緊湊的工 業設計，依據 ISO 14644-9 和 ISO 14644-17 標準，監測顆 粒沉積速率（DPRL）。該設備使工藝/質量工程師能夠實時 監控潔凈室環境中關鍵區域的顆粒沉降情況。

在關鍵區域實現持續監測

區別于傳統的僅監測空氣懸浮顆粒，該系統可以對關鍵表 面的顆粒污染控制和潔凈度驗證進行持續監測。 亞微米級顆粒并非始終懸浮于空氣中，它們可能沉積于關 鍵表面，影響技術潔凈度與產品質量。

該儀器采用 2 英寸晶圓采集環境中的落塵顆粒，并可每 隔 10 秒左右對晶圓表面的顆粒進行連續粒子沉降監測。 其檢測粒徑尺寸為 ≥0.5（通過 NIST 認證），并準確量化 沉降速率。 軟件界面簡單直觀，可以一鍵生成報告。

Fastmicro PFS  是  一 款 高 精 度 原 位 檢 測 顆 粒 的 儀 器，幫 助 工 程 師 應 對潔凈工藝控制挑戰。

結合 Phenom XL 掃描電鏡，可以 便捷高效的進一步對顆粒物進行成分表征和溯源分析。