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雙爐滑軌式簡易版PECVD

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  • 品牌 貝意克
  • 廠商性質 生產商
  • 所在地 合肥市
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更新時間:2024-08-01 13:58:51瀏覽次數:1778

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產品簡介

產地類別 國產 價格區間 面議
儀器種類 管式爐 應用領域 環保,化工,能源,電子/電池
雙爐滑軌式簡易版PECVD,該PECVD(等離子化學氣相沉積系統)系統,有多路質量流量計系統(進口流量計),真空機組(進口真空泵),PE射頻電源(進口射頻源),溫控系統等裝置構成。使用PE源將氣源等離子化,有利于降低工藝溫度,同時擴大工藝的使用條件,滿足更多的工藝實驗要求,如石墨烯、碳納米管等,控制操作系統集成于觸摸屏操作面板上,便于操作與觀察。

詳細介紹

雙爐滑軌PECVD技術參數:

雙溫場滑軌爐

 主要特點:

滑軌式快速升溫爐是專為生長石墨烯研制的石墨烯生長專用爐,也同樣適用于要求升降溫速度比較快的CVD實驗,這款設備是根據開啟式真空管式爐改裝而來的,操作時可將實驗需要的恒定高溫直接推到樣品處,使樣品能得到一個快速的升溫速度,同樣也可將高溫的管式爐直接推離樣品處,使樣品直接暴露在室溫環境下,得到快速的降溫速率。

 技術參數:

額定功率(KW):4

額定電壓(V):AC 208-240V Single Phase,50/60 Hz

最高溫度(℃):1200(1 hour)

持續工作溫度(℃):1100

最大升& 降溫速率(℃/S):≤20

爐管尺寸(mm):高純石英管Φ50×1900(管徑可選)

加熱區長度(mm) :230+230

恒溫區長度(mm):100+100

控溫方式:模糊PID控制和自整定調節,智能化30段可編程控制具有超溫和斷偶報警功能

控溫精度(℃):±1

密封系統:爐管兩端配304不銹鋼水冷密封法蘭(包括精密針閥,指針式真空壓力表,法蘭進氣端配置兩個Φ6mm卡套進氣口。

凈重(Kg):80

射頻電源500W


信號頻率:13.56 MHz±0.005%

功率輸出范圍:L5W-500W

最大反射功率:200W

射頻輸出接口:50 Ω, N-type, female

功率穩定度:±0.1%

諧波分量:≤-50dbc

供電電壓:單相交流(187V-253V)

頻率:50/60HZ

整機效率:>=70%

功率因素:>=90%

冷卻方式:強制風冷

供氣系統


工作電壓:185~245V 50HZ

最大輸出功率:18W

流量計標準量程:100sccm,200sccm,200sccm,500sccm(非特殊以氮氣標定,量程可選)

工作溫度:5~45℃

工作壓差:0.1~0.5MPa

最大壓力:3MPa

準確度:±1.5% FS

測量范圍:-0.1~0.15 MPa(0.01 MPa/grid)

針閥:316不銹鋼

混氣罐:Φ80×120mm

截止閥:Φ6mm"316不銹鋼針閥

尺寸:600×600×650 mm

低真空機組VAU-02


空氣相對濕度: ≤85%

工作電電壓:220V±10%  50~60HZ

抽氣速率:8m3/h

極限真空:4X10-2Pa

實驗真空度:1.0X10-1Pa

容油量: 1.1L

進氣口口徑:KF25

排氣口口徑:KF25

轉速:1450rpm

噪音:50dB

外型尺寸:600×600×600mm



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