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智能型PECVD系統

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具體成交價以合同協議為準
  • 型號 PECVD-III-500A-D210
  • 品牌 貝意克
  • 廠商性質 生產商
  • 所在地 合肥市
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更新時間:2024-09-04 14:51:44瀏覽次數:328

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產品簡介

產地類別 國產 應用領域 綜合
PECVD-III-500A-D210是一款智能型PECVD系統。該設備主要分為四大部分:多溫區管式爐、射頻組件、氣路系統、及自動化控制軟件集成系統。

詳細介紹

智能型PECVD系統

該設備主要分為四大部分:多溫區管式爐、射頻組件、氣路系統、及自動化控制軟件集成系統。

1、開啟式加熱爐

加熱爐膛采用超輕氧化鋁纖維材料,配K型熱電偶,6點控溫;設備升降溫控制靈活、加熱爐可電動開啟方便客戶更換維修反應管。

2、氣路系統

可由質量流量計精確控制多路氣體按不同流量進行混合配比,另外單獨1路過鼓泡器后進入反應管內。

3、射頻組件
1000W高性能射頻輝光均勻,可使整個反應腔體都處于輝光產生區。
4、 智能控制系統          
采用智能PID模糊控制,30段可編程控制。具有超溫和斷偶報警功能。


智能型PECVD系統

最高溫度

1200℃

持續工作溫度

≤1100℃

升溫速率

≤10℃/min

控溫精度

±1℃

加熱元件

電阻絲

熱電偶

K型

控溫方式

模糊PID控制和自整定調節,人工智能化30段可編程控制,具有超溫和斷偶報警功能,人機界面加PLC控制,15寸液晶屏控制,數字工控儀表雙控,采用工業智能控溫儀和軟件實現雙控

加熱總功率

≤15KW

加熱區尺寸

300+300+300mm

射頻功率

1000W

設備尺寸

2550*850*1600mm

設備重量

約600KG

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