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檢測對象
H2丨AsH3丨B2H6丨SiH4丨PH3
檢測濃度
1.0ppm丨0.5ppm丨0.2ppm丨0.5ppm丨0.3ppm
檢測原理
熱線型半導體式
采樣方式
自動吸引式
應用行業
半導體制造
產品描述：半導體材料氣體檢測
01.便攜式氣體檢測器產品特點
● 小型·輕量
● 可以檢查非常微量的氣體泄漏
● 適合氫氣相關設備的安全防護
● 搭載的泵有自動停止功能
● 搭載[自動氣體排氣模式]功能
● 保護等級約為IP22（JIS C 0920）※安裝皮套時
02.便攜式氣體檢測器產品用途
● 半導體工廠/石油化學工廠等
● 在使用半導體材料氣體/毒性氣體的現場進行泄漏檢測
03.產品參數
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