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中國(guó)開始銷售納米尺度3D光學(xué)干涉測(cè)量系統(tǒng)“VS1800”

時(shí)間:2019-3-6閱讀:1928
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中國(guó)開始銷售納米尺度3D光學(xué)干涉測(cè)量系統(tǒng)“VS1800” :此外,2010年制定了有關(guān)三維表面形態(tài)評(píng)估的標(biāo)準(zhǔn)ISO 25178,確立了評(píng)估方法,在這種背景下,實(shí)施三維測(cè)量的企業(yè)和研究機(jī)構(gòu)等日益增多。因此,需要我們急切實(shí)現(xiàn)有關(guān)表面形態(tài)測(cè)量上的測(cè)量與分析的簡(jiǎn)單化以及應(yīng)對(duì)多種樣品的測(cè)量問題。
 
此次發(fā)售的“VS1800”產(chǎn)品, 搭配了符合ISO 25178標(biāo)準(zhǔn)的分析工具 “ISO 25178參數(shù)對(duì)比工具”。在ISO 25178標(biāo)準(zhǔn)中規(guī)定了評(píng)估表面性狀的32個(gè)項(xiàng)目的參數(shù),但在對(duì)比樣品時(shí),選擇適合評(píng)估的參數(shù)很難,成為分析業(yè)務(wù)的難題。“ISO 25178參數(shù)對(duì)比工具”,通過按差異程度大小順序自動(dòng)對(duì)測(cè)量的參數(shù)值進(jìn)行依次排序,可輕松選出適合對(duì)比樣品的參數(shù),從而支持客戶的分析業(yè)務(wù)。
 
此外,“VS1800” 產(chǎn)品,通過光干涉方法*4除了可實(shí)現(xiàn)大視野測(cè)量、0.01nm的垂直方向分辨率*5、高重現(xiàn)性外,亦通過日立優(yōu)良技術(shù)科學(xué)自主研發(fā)的技術(shù),繼承了多層膜的無損傷測(cè)量等傳統(tǒng)產(chǎn)品的高測(cè)量性能。此外,該產(chǎn)品還可搭配“大傾斜角測(cè)量選配 ”*6功能,通過捕捉大傾斜角斜面的微弱的干涉條紋變化,實(shí)現(xiàn)傳統(tǒng)的光干涉方式無法實(shí)現(xiàn)的大傾斜角斜面測(cè)量,從而應(yīng)對(duì)多種多樣的樣品表面性狀的三維測(cè)量。

中國(guó)開始銷售納米尺度3D光學(xué)干涉測(cè)量系統(tǒng)“VS1800” 
l2019年3月5日,日立優(yōu)良技術(shù)科學(xué)公司宣布,在中國(guó)開始銷售利用光干涉原理進(jìn)行非接觸式無損傷三維表面形態(tài)測(cè)量的納米尺度3D光學(xué)干涉測(cè)量系統(tǒng)“VS1800”,該產(chǎn)品搭配有支持多目的表面測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)“ISO 25178*1參數(shù)對(duì)比工具”,通過簡(jiǎn)單而準(zhǔn)確的樣品測(cè)量支持客戶的分析業(yè)務(wù),與此同時(shí),憑借不斷創(chuàng)新積累的三維測(cè)量性能,實(shí)現(xiàn)高精度、高分辨率的表面性狀的測(cè)量。

 

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