費斯托壓力傳感器在系統安裝時需要注意什么情況
費斯托壓力傳感器在采用周邊固定的圓形應力杯硅薄膜內壁,采用MEMS技術直接將四個高精密半導體應變片刻制在其表面應力zui大處,組成惠斯頓測量電橋,作為力電變換測量電路,將壓力這個物理量直接變換成電量,其測量精度能達0.01-0.03%FS。
電容式壓力傳感器利用MEMS技術在硅片上制造出橫隔柵狀,上下二根橫隔柵成為一組電容式壓力傳感器,上橫隔柵受壓力作用向下位移,改變了上下二根橫隔柵的間距,也就改變了板間電容量的大小,即△壓力=△電容量。
壓力傳感器有硅壓阻式壓力傳感器和硅電容式壓力傳感器,兩者都是在硅片上生成的微機械電子傳感器。
硅壓阻式壓力傳感器是采用高精密半導體電阻應變片組成惠斯頓電橋作為力電變換測量電路的,具有較高的測量精度、較低的功耗和極低的成本。惠斯頓電橋的壓阻式傳感器,如無壓力變化,其輸出為零,幾乎不耗電。其電原理如圖1所示。硅壓阻式壓力傳感器其應變片電橋的光刻版本如圖2。
技術指標
額定載荷 10~1000kg
綜合精度 0.02(線性+滯后+重復性)
靈敏度 2.0 mV/V
蠕變 ±0.02 %F·S/30min
零點輸出 ±1 %F·S
零點溫度影響 ±0.02 %F·S/10℃
輸出溫度影響 ±0.02 %F·S/10℃
工作溫度 -20℃~+65℃
費斯托壓力傳感器在系統安裝時需要注意什么情況
輸入阻抗 380±10 Ω
輸出阻抗 350±3 Ω
絕緣電阻 >5000 MΩ
安全過載 150% F·S
響應時間: 5 mS(上升到90%FS)
供電電壓: 24DCV(9~36DCV)
介質溫度: -20~85~150℃
環境溫度: 常溫(-20~85℃)
負載電阻: 電流輸出型:zui大800Ω;電壓輸出型:大于50KΩ
絕緣電阻: 大于2000MΩ (100VDC
密封等級: IP65
長期穩定性能: 0.1%FS/年
振動影響: 在機械振動頻率20Hz~1000Hz內,輸出變化小于0.1%FS
電氣接口(信號接口): 四芯屏蔽線、四芯航空接插件、緊線螺母
供橋電壓 建議10VDC
材質 合金鋼或不銹鋼
接線方式 輸入(+):紅線 輸入(-):黑線
輸出(+):綠線 輸出(-):白線
費斯托壓力傳感器在系統安裝時需要注意什么情況