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真空環境大大降低了需要驅逐的液體的沸點，所以真空干燥可以輕松應用于熱敏性物質；
對于不易干燥的樣品，例如粉末或顆粒狀樣品，使用真空干燥法可以有效縮短干燥時間；
各種構造復雜的機械部件或其他多孔樣品經過清洗后使用真空干燥法，*干燥后不留任何參與物質；
使用更安全――在真空或惰性條件下，*消除氧化物遇熱爆炸的可能；
與依靠空氣循環的普通干燥相比，粉末狀樣品不會被流動空氣吹動或移動。