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四探針電阻測試儀的技術指標

時間:2020/10/23閱讀:2290
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四探針測試儀是運用四探針測量原理的多用途綜合測量設備,用于測試半導體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)。
 
四探針測試儀由主機、測試臺、四探針探頭、計算機等部分組成,測量數據既可由主機直接顯示,亦可由計算機控制測試采集測試數據到計算機中加以分析,然后以表格,圖形方式統計分析顯示測試結果。
 
四探針電阻測試儀的技術指標:
 
1.方塊電阻范圍:10-4~2×103Ω/□
 
2.電阻率范圍:10-5~2×104Ω-cm
 
3.測試電流范圍:10μA,100μA,1mA,10mA,100 mA
 
4.電流精度:±0.2%讀數
 
5.電阻精度:≤0.3%
 
6.顯示讀數:液晶顯示:電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導率
 
7.測試方式: 普通單電測量

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