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   當(dāng)前的高效過(guò)濾器方法有：粒子計(jì)數(shù)器法、光度計(jì)法。光度計(jì)法不如粒子計(jì)數(shù)法靈敏。粒子計(jì)數(shù)法，以粒子計(jì)數(shù)器作為檢測(cè)儀器，使用單分散或多分散氣溶膠，靈敏度高，多用于高效過(guò)濾器。

  粒子計(jì)數(shù)器跟光度計(jì)的區(qū)別在于，光度計(jì)采用火焰光度計(jì)，對(duì)NACL燃燒的火焰色度作響應(yīng)，靈敏度低，且NACL對(duì)微電子產(chǎn)品質(zhì)量有害，國(guó)外已不用。

   檢測(cè)儀器可使用氣溶膠光度計(jì)或粒子計(jì)數(shù)器。粒子計(jì)數(shù)器檢測(cè)的是粒子數(shù)量的分布，以粒/L單位表示。而光度計(jì)檢測(cè)的是粒子質(zhì)量濃度，以mg/L表示，多數(shù)量分布粒子與大濃度分布的粒子并不處于同一粒徑。粒徑與重量成三次方關(guān)系，大粒徑的粒子在濃度分布中占有較大的比重，因此在檢測(cè)效率過(guò)濾時(shí)，使用粒子計(jì)數(shù)器和光度計(jì)得到的結(jié)果有差別，與粒子計(jì)數(shù)器相比，光度計(jì)靈敏度很低，因此不用來(lái)檢測(cè)H13級(jí)以上高效過(guò)濾器，對(duì)于制藥企業(yè)高效過(guò)濾器的撿漏而言，光度計(jì)使用方便，檢測(cè)結(jié)果易以判斷，對(duì)泄露檢測(cè)比較敏感和廣泛應(yīng)用。