Bruker 公司的Anasys nanoIR3型納米紅外光譜測量系統，是一款基于原子力顯微鏡（AFM）的納米表征工具。其采用光熱誘導共振技術（PTIR，也稱AFM-IR），使紅外光譜的空間分辨率突破了光學衍射極限，提高至10納米級別。為揭示納米尺度下的表界面紅外光譜信息提供了可能。該技術曾榮獲2010年度美國R&D100大獎。
下面是nanoIR3的技術優勢：
10nm高化學解析分辨率，揭示微區化學組分
準確的微區化學表征：基于光熱誘導效應PTIR原理，與FTIR光譜吻合，沒有吸收峰的任何偏移；
快光譜采集：光譜采集速度：<3s/光譜，光譜分辨率: <1 cm-1；
AFM成像速度一致的快速化學成像，全自動光路優化，避免實驗困惱；
二維可視化光斑追蹤，保證佳信號；
全自動軟件控制入射光束準直技術修正激光的偏移，動態能量調整，確保信號的準確性；
嵌段共聚物P2VP&PS的AFM-IR光譜和紅外成像
寬中紅外激光，實現O-H, N-H, C-H等官能團的表征
寬中紅外激光：800-3600 cm-1；
多種光源可選，可集成THz，同步輻射光源，可見光，近紅外，自由電子激光器等；
3.支持全系列掃描探針顯微鏡模式。
Contact Mode（接觸模式）
Tapping Mode（輕敲模式）
Lateral Force Microscope（橫向力/摩擦力顯微鏡）
Phase Imaging（相位成像）
Magnetic Force Microscopy (磁力顯微鏡)
Electrostatic Force Microscopy (靜電力顯微鏡)
Conductive Atomic Force Microscopy (導電原子力顯微鏡)
Kelvin Probe Force Microscopy (開爾文探針力顯微鏡)
Force Curve Spectroscopy（力曲線）
Liquid Imaging（液態環境掃描）
Heater-Cooler Imaging（高低溫環境掃描）
SThM（掃描熱顯微鏡）
Nano-TA（納米熱分析）
LCR（洛倫茲納米力學分析）
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