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天津德尚科技有限公司

有關薄膜沉積控制儀的分析介紹

時間:2018-7-24 閱讀:2216
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  薄膜沉積控制儀利用原子層沉積制備高質量薄膜材料,前驅體需滿足良好的揮發性、足夠的反應活性以及一定熱穩定性,前驅體不能對薄膜或襯底具有腐蝕或溶解作用,前驅體脈沖時間需保證單層飽和吸附,沉積溫度應保持在窗口內,以避免因前驅體冷凝或熱分解等引發CVD生長從而使得薄膜不均勻。
  含塵氣體進入濾筒除塵器灰斗后,由于氣流斷面突然擴大,氣流中一部分顆粒粗大的塵粒在重力和慣性力作用下沉降下來,粒度細、密度小的塵粒進人濾筒收塵器過濾室后,通過布朗擴散和篩濾等綜合效應,使粉塵沉積在濾料表面,凈化后的氣體進入凈氣室由排氣管經風機排出。
  當脈沖閥開啟時,氣包內的壓縮空氣通過脈沖閥經噴吹管上的小孔噴射出一股高速、高壓的引射氣流,從而形成一股相當于引射氣流體積1~2倍的誘導缺陷流,一同進入除塵濾筒內,薄膜沉積控制儀使粉塵濾筒內出現瞬間正壓并產生鼓脹和微動;沉積在濾料上的粉塵脫落,掉入灰斗內,灰斗內的粉塵通過卸料器,連續排出。氣流中的一部分大顆粒、密度大的粉塵及凝聚塵粒在離心力、及重力作用下沿筒壁旋落灰斗,粒度細、密度小的微小塵粒懸浮于氣體中通過氣流分布裝置,均勻進入過濾室中彌散于濾袋間隙,通過濾袋表面的慣性碰撞、篩濾等作用而沉積在濾袋表面,凈化氣體由主風機排出。

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