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一：產品簡述

（1.1）等離子清洗的作用

等離子清洗的作用原理主要是：

（A）   對材料表面的刻蝕作用--物理作用

等離子體中的大量離子、激發態分子、自由基等多種活性粒子，作用到固體樣品表面，不但清除了表面原有的污染物和雜質，而且會產生刻蝕作用，將樣品表面變粗糙，形成許多微細坑洼，增大了樣品的比表面。提高固體表面的潤濕性能。

（B）激活鍵能，交聯作用

等離子體中的粒子能量在0~20eV，而聚合物中大部分的鍵能在0~10eV，因此等離子體作用到固體表面后，可以將固體表面的原有的化學鍵產生斷裂，等離子體中的自由基與這些鍵形成網狀的交聯結構，大大地激活了表面活性。

（C）形成新的官能團--化學作用

如果放電氣體中引入反應性氣體，那么在活化的材料表面會發生復雜的化學反應，引入新的官能團，如烴基、氨基、羧基等，這些官能團都是活性基團，能明顯提高材料表面活性。

（1.2）真空等離子清洗的優勢

等離子清洗作為重要的材料表面改性方法，已經在眾多領域廣泛使用。

與傳統的一些清洗方法，如超聲波清洗、UV清洗等，具有以下優點：

（A）處理溫度低

處理溫度可以低至80℃、50℃以下，低的處理溫度可以確保對樣品表面不造成熱影響。

（B）處理全程無污染

等離子清洗機本身是很環保的設備，不產生任何污染，處理過程也不產生任何污染。

（C）處理效果穩定

等離子清洗的處理效果非常均勻穩定，常規樣品處理后較長時間內保持效果良好。

（D）可以處理各種形狀的樣品

對于復雜形狀的樣品，等離子清洗都能找到合適的解決方案。

真空等離子清洗更可實現對固體樣品內部位置進行清洗。

等離子體清洗機  實驗室用小型表面清洗設備

（2.2）產品原理

等離子清洗機的結構主要分為四大部分組成：控制系統、激勵電源系統、真空腔體、工藝氣體系統、以及真空泵系統。