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電感耦合等離子體質譜儀（ICP-MS）基本原理
CP-MS(ICP質譜)前些年只有幾個廠家生產，是那些各個領域的TOP實驗室的需求，用來出高級研究成果的。近明顯的感覺是：進口、國產的ICP-MS生產商有所增加，催產因素有哪些呢？大概有如下幾點原因：ICP-MS進入我國國標；我國的元素分析一直很火；ICP-MS技術成熟和越來越好用；不斷進入新的應用領域，如：納米顆粒分析、金屬組學、質譜流式細胞術、地質年代學等；國內外ICP-MS技術交流頻繁，國產ICP-MS廠商逐步增加，國內市場的占有也在逐步的擴大。
ICP-MS基本原理：
ICP-MS 是以電感耦合等離子體作為離子源，以質譜進行檢測的無機多元素分析技術。被分析樣品通常以水溶液的氣溶膠形式引入氬氣流中，然后進入由射頻能量激發的處于大氣壓下的氬等離子體中心區；等離子的高溫使樣品去溶劑化、汽化解離和電離(主要形成單電荷正離子)。離子在采樣錐、截取錐、真空的吸力下向真空區傳輸，并被離子透鏡聚焦，然后進入質量分析器(如四極桿、TOF、磁質譜)，后通過檢測器檢測。在四極桿ICP-MS中，為進一步排除干擾，近年來普遍發展的技術是碰撞池/反應池，一般在離子透鏡后。
美析儀器ICP-MS6880電感耦合等離子體質譜儀
從硬件構成上，常用的四極桿ICP-MS包括：樣品引入系統、離子源(包括霧化室、RF發生器和等離子體炬管)、接口(采樣+截取錐)、離子透鏡、動態反應池/碰撞池系統、四極桿質量分析器、檢測系統、軟件。從接口到檢測器的部分，都在真空里。RF發生器除PerkinElmer采用40.68 MHz，其余廠商都采用27.12 MHz。