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CMP在線檢測具有優勢的高新技能
CMP在線檢測具有優勢的高新技能
CMP在線檢測可為超大粒徑顆粒提供可靠、的粒徑和計數數據，采用擁有的單顆粒測量技術和動態自動稀釋技術實現單顆粒依次檢測分析，具有的靈敏度、解析度和度，不存在顆粒間相互干擾問題。
由于獲得的是真實粒度分布，因此測量結果重復性好、可靠、統計精度高，適于檢測分析亞微米顆粒體系中較大顆粒的分布信息，動態自動稀釋和清洗系統使得測試方便快捷，只需通過鼠標的單擊操作，即能幫助用戶在短時間內完成從進樣到檢測，進而清洗系統的所有操作，使用戶獲得粒徑的詳細分布信息。CMP在線檢測校準油相標準物質研制過程中，為了批與批之間的均勻性、一致性和穩定性，必須對標準物質的制備工藝、均勻性和穩定性評定要求、定值方法、不確定度評定方法、包裝方式、檢驗規則等相關技術內容進行統一的規定和要求。
按照JJG 1006-1994《標準物質技術規范》要求，CMP在線檢測校準油相標準物質研制步驟基本有以下四個方面：首先，選擇合理的制備程序、工藝，并防止外來污染及待定特性量的量值變化，采用滿足顆粒計數器校準特殊要求無色透明平底瓶子分裝包裝儲存，便于在校準過程中隨時觀察標準物質的用量與狀態；然后按照隨機數表由同批制備的樣品中隨機抽取樣品，組成檢查樣本，進行均勻性檢驗；再則標準物質在規定的儲存或使用條件下，定期進行穩定性檢驗；后在均勻性檢驗和穩定性檢驗合格后進行定值并評定不確定度。
CMP在線檢測定值方法是標準物質研制的關鍵技術，定值是對標準物質的賦值，在顆粒計數器校準油相標準物質定值方法研究中，國內外顆粒度領域基本采用相同原理的方法，采用測量方法對顆粒計數器校準油相標準物質進行定值。CMP在線檢測一般通過膜分離技術，將單位體積的顆粒計數器校準油相標準物質中的固體顆粒收集在超細的微孔濾膜上，使用光學顯微鏡或掃描電子顯微鏡采集微孔濾膜上顆粒的特征圖像，采用軟件統計分析不同顆粒粒徑的數量及大小，得出終定值結果。