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ORIENTALMOTOR伺服電動機，日本東方馬達伺服電動機
主電源分開，單獨安裝控制電源輸入端子。即使發生緊急停止等導
致主電源被斷開，只要向控制電源輸入端子供電（DC24V），就能夠
進行位置檢測· 警報內容確認等。
（即使只給主電源供電，也仍能夠運轉。）
容許負載轉動慣量J 2.90×10^-4J:kg?m^2
分辨率（電動機軸） 100～100000P/R
檢出器 式編碼器 1轉量 20bit、多次旋轉量 16bit
電源輸入 電壓·頻率數 AC主電源
單相/三相 200-230V −15∼+10% 50/60Hz
電源輸入 電壓 DC控制電源 DC24V -10~+10% 0.8 A
電源輸入 額定輸入電流 1.8A *1
規格 UL、CSA、EN
對應半導體制造設備規格「SEMI F47」
● 對應SEMI規格中的電源電壓下降規格。
● 用于半導體制造裝置時。
（請務必使用實機裝置進行評估。
步進電動機那樣，無需進行增益調整，能夠穩定地運行大慣性驅動
及皮帶機構的驅動。此外，
如手動進行增益調整，則能夠進行更嚴格
負載條件下的運行。
◇ 實現了大慣性驅動
運行時不會在停止前發生振
額定輸出 100W
額定轉速 3000r/min
zui大轉速 5500r/min
額定轉矩 0.318N?m
瞬時zui大轉矩 0.955N?m
轉子轉動慣量J 0.0290×10^-4J:kg?m^2
ORIENTALMOTOR伺服電動機，日本東方馬達伺服電動機
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