原裝E+H音叉料位計//E+H固體音叉開關FTI51-2AA1GEJ45A1A隨著微納制造技術飛速發展，對與之相關的微納檢測技術提出了 更高要求，體現在測量范圍、測量精度和測量速度等方面。原子力顯微術（AFM）是微納檢測技術中的一項重要方法，可以實現微結構器件的表面形貌檢測，分辨 力能達到納米級。測頭與大范圍高精度定位平臺相結合實現毫米級測量范圍和納米級分辨力的動態AFM是近年來AFM發展的一大熱點。本文在充分調研動態 AFM研究現狀和發展趨勢的基礎上，將自感應音叉測頭與大范圍納米定位平臺（NMM）相結合，構建了一套可以在多種工作模式下使用的動態AFM測量系統。 論文主要完成的工作包含以下幾個方面：1.從音叉探針的結構特點入手解釋其工作原理。建立音叉探針的力學模型，得到了探針的兩個諧振頻率并討論了音叉探針 工作頻率的選擇問題。構建音叉探針的電學模型，分析了內部寄生電容對音叉探針的影響。介紹了動態AFM三種工作模式的原理并討論了不同工作模式的特點。 E+H FTI51-2AA1GEJ45A1A L=200MM
E+H FTL50H-ATE2AC2G6A
E+H FTM31-A4DA1A, L=600mm
E+H FTM51-AGG2L2A72AAL=2000MM
E+H FTL51-DGR2DB4G5A
E+H FTM52-AGG2B4A32AA L=3M
E+H FTM52-AGG2B4A32AA L=6M
E+H FMP40-ABB2GRJB21AA   L=15M
E+H FTL50-KGM2AA4E5A
E+H FTL20-002B
E+H FTL51-AGQ2BB4G5A L=150MM
E+H FTE30-EBB1 L=200MM
E+H FMP40-1KK2APJB211A L=1M
E+H FTL20H-0TDJ2
E+H FTW325-A2B1A
E+H FTL51-AGR2DB4G5A
E+H FTL51-AGR2BB4F5A L=680MM
E+H FTL51-AGR2DB4G5A L=118MM
E+H FTM50-AGJ2A4A32AA
E+H FTM20-AN43A
E+H FTL50-AGQ2AA4G5A
E+H FMR230-A6VC6JBA2A
E+H FMX167-A1AME1B1
E+H DB52-GL10BB11GG20 L=2.5M
E+H FTL50-AGM2AA4G4A
E+H FMP40-ABB2GRJB21AA L=30M
E+H FTL51-AGR2DB4G5A
E+H FTL51-KGR2BB4G5A  L=150MM
E+H FTI56-AAC1RV142C1A  L＝1100
E+H FTI56-AAC1RV142C1A  L＝700
E+H FTM51-XAF2L7A72AA L=500MM
E+H FTM51-XAF2L7A72AA  L=1000MM
E+H FTM51-XAF2L7A72AA  L=1500MM
E+H FTM51-XAF2L7A72AA  L=2000MM
E+H FTM51-XAF2L7A72AA  L=2500MM
E+H FTL325P-M1E1
E+H FMI51-L2EB0JB5A1A L1=450MM L3=250MM
E+H FMR245-A4CMKAA2A
E+H FTM50-AGG2A4A32AA
E+H FMI51-A1BGEJB3A1A L＝380MM
E+H FTL50-DGQ2AA4G5A
E+H 942261-0000 /FEC12
E+H FMI51-A1BGEJB3A1A L＝800MM
E+H FMI51-A1ARCJA1A1A L=1800MM
E+H DC11TEN-AA11D1BK41, L=1600MM
E+H FMI51-A1AREJB1C1A L=1600MM
E+H FMX167-A3ABE1B7
E+H FTM52-AGG2C4A12AA  L=800MM
E+H FTL260-0020
E+H FTL20-0120
E+H FMP40-ABB2GRJB21AA
E+H FMP40-ABB2GRJH21AA L=17500MM
E+H FTL51-AGR2DB4G5A
E+H FTL20H-OMNJ2F
E+H FTL50H-ATE2AC2G6A
E+H FTL50-KAE2AA4G5A
E+H FTL51-KAE2BB4G7A  L=300MM
E+H FMR240-A3V1CMJAA4A
E+H FMR250-A5E1XCJAA2K
E+H FTC325-A2A31
E+H FMI51-A9AGEJB3A1A
E+H FTM50-AGG2A1A32AA
E+H FTW325-C2A1A
E+H FMR230-14VAVJAA4A2.開發了小型自感應音叉測頭。設計了信號處理電路，實現了音叉探針信號的放大濾波和寄生電容的補償。將小型自感應音叉測頭與NMM結合，搭建了一套大范 圍的AFM測量系統，并且保證了測量結果的溯源性。設計了以DSP為核心的數字PI反饋控制系統，制作了一臺反饋信號控制器。測量系統可以實現多種測量模 式，各種測量模式之間可以通過控制器上的模式切換開關實現快速切換而不需要改變線路的連接情況。3.通過提取音叉探針內部納安級微弱電流的實驗得到了激勵 電壓與音叉探針電流的關系。利用顯微激光多普勒測振法測量音叉探針的機械振幅，實現了音叉探針機電耦合系數的標定。討論了溫度和外界振動對音叉探針的品質 因數、諧振頻率等參數的影響。測試了反饋控制模塊的性能。使用AFM測量系統在頻率調制和相位調制兩種工作模式下完成了對標準柵格結構測量，驗證了測量系 統的可行性。

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