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Phasics 提供 SID4 系列高性能/高分辨率波前傳感器以及包含該波前傳感器的 Kaleo 系列干涉儀。這些產(chǎn)品擁有支持 UV、VIS、SWIR、DWIR 和 LWIR 等各個(gè)波長(zhǎng)帶的一系列型號(hào)，用于激光測(cè)量、光學(xué)測(cè)量、天文學(xué)、國(guó)防、太空和半導(dǎo)體制造等應(yīng)用和市場(chǎng)。

SID4 UV

SID4 UV 可在低至 250 nm 的波長(zhǎng)下提供高分辨率波前測(cè)量，使其成為紫外光學(xué)檢測(cè)、紫外激光表征(用于光刻和半導(dǎo)體應(yīng)用)以及透鏡和晶圓表面檢測(cè)的理想選擇。

● 光譜范圍 UV (190-400 nm)

● 超高分辨率250×250采樣

● 高靈敏度

● 經(jīng)濟(jì)實(shí)惠的 2 nm RMS UV 波前測(cè)量解決方案

SID4 UV HR

SID4 UV HR 波前傳感器基于 Phasics 的技術(shù)，在 190 nm 至 400 nm 的紫外光譜范圍內(nèi)提供高分辨率(512 x 512 個(gè)測(cè)量點(diǎn))和靈敏度(2 nm RMS)。因此，SID4 UV HR 非常適合光學(xué)元件特性分析(用于光刻、半導(dǎo)體……)和表面檢查(鏡頭和晶圓)。

● 靈敏度低至 190 nm

● 高靈敏度 2 nm RMS

● 非常高的分辨率(512 x 512采樣)

● 光譜范圍 紫外 (190 - 400 nm)

SID4

SID4 是我們?nèi)腴T級(jí)但高分辨率的波前傳感器，覆蓋可見光和近紅外范圍，是任何激光或光學(xué)計(jì)量應(yīng)用的多功能工具。高靈敏度 - 2 nm RMS

400 - 1100 nm 范圍內(nèi)消色差，無需校準(zhǔn)

自參考對(duì)振動(dòng)不敏感且易于對(duì)準(zhǔn)

光譜范圍 VIS - NIR (400 - 1100 nm)

SID4 HR V

SID4 HR V 是市場(chǎng)上第一款現(xiàn)成的真空兼容波前傳感器，為高能激光設(shè)施中的自適應(yīng)光學(xué)開辟了新視野。在實(shí)際實(shí)驗(yàn)條件下現(xiàn)場(chǎng)測(cè)量波前，表征壓縮機(jī)容器內(nèi)的激光束，并測(cè)量目標(biāo)旁邊的氣體射流和等離子體密度!借助 Phasics 的策略，現(xiàn)在可以校正真空室內(nèi)每個(gè)光學(xué)元件的像差，直至目標(biāo)位置。SID4 HR V 還可用于在環(huán)境測(cè)試活動(dòng)期間進(jìn)行波前測(cè)量。

真空兼容性 > 10 -6 mbar

不受熱和機(jī)械真空約束影響

低排氣

光譜范圍 VIS - NIR (400 - 1100 nm)

SID4 HR

SID4 HR 為苛刻的波前測(cè)量應(yīng)用帶來了超高相位采樣 (416 x 360) 和高動(dòng)態(tài)范圍 (500 µm PV)。其大孔徑和高波前靈敏度使其非常適合直接測(cè)量大型發(fā)散光束，而無需中繼光學(xué)元件。

非常高的分辨率(416 x 360 相位像素)

大分析瞳孔：9.98 x 8.64 mm2

直接測(cè)量高達(dá) 0.8 NA 的光束

光譜范圍 VIS - NIR (400 - 1100 nm)

SID4 SWIR

SID4 SWIR 波前傳感器將 Phasics 的技術(shù)與 InGaAs 探測(cè)器相結(jié)合。憑借其高空間分辨率(80 x 64 相位像素)和高靈敏度，它可提供從 900 nm 到 1.7μm 的精確波前測(cè)量。SID4 SWIR 是一種創(chuàng)新解決方案，用于測(cè)試光通信、檢查儀器或軍事和監(jiān)視設(shè)備中的夜視中使用的 SWIR 光學(xué)系統(tǒng)。

高分辨率 – 80 x 64 相位像素

高靈敏度——兼容低能紅外源

結(jié)構(gòu)緊湊，自參考，易于設(shè)置

短波紅外光譜范圍 (900 - 1700 nm)

SID4 SWIR HR

SID4 SWIR HR 波前傳感器將 Phasics 的技術(shù)與 InGaAs 探測(cè)器相結(jié)合。憑借其超高空間分辨率(160 x 128 相位像素)和高靈敏度，它可提供從 900 nm 到 1.7 µm 的精確波前測(cè)量。SID4 SWIR HR 是一種創(chuàng)新解決方案，用于測(cè)試光通信、檢查儀器或軍事和監(jiān)視設(shè)備中的夜視中使用的 SWIR 光學(xué)系統(tǒng)。

擴(kuò)展光譜范圍從 0.9 至 1.7 µm

非常高的分辨率——160 x 128 相位像素

高靈敏度——兼容低能紅外源

短波紅外光譜范圍 (900 - 1700 nm)

SID4 DWIR

SID4 DWIR 是一款現(xiàn)成的高分辨率波前傳感器，適用于 3 至 5 µm 和 8 至 14 µm 的雙波段紅外。它非常適合表征紅外光學(xué)器件、黑體源、3.39 µm 或 10.6 µm 激光束和系統(tǒng)。高分辨率 – 160 x 120 相位像素

使用同一傳感器的 MWIR 和 LWIR 波段

無需中繼透鏡即可進(jìn)行高數(shù)值孔徑測(cè)量

光譜范圍 MWIR(3 - 5 μm) LWIR(8 -14 μm)

SID4 LWIR

SID4 LWIR 帶來長(zhǎng)波長(zhǎng)紅外區(qū)域(8 μm 至 14 μm)的高分辨率波前測(cè)量，并表征用于 CO2 和 OPO 激光束測(cè)量、熱成像、安全和安全視覺的紅外組件和鏡頭。

8 至 14 μm 的整個(gè)長(zhǎng)波紅外波段消色差

非制冷焦平面陣列技術(shù)

高分辨率。 160 x 120 相位像素

光譜范圍 LWIR (8 -14 μm)

應(yīng)用領(lǐng)域

1、3D 表面形貌測(cè)量

測(cè)量表面特性是控制和調(diào)整制造方法以提高樣品整體性能的一種方法。對(duì)于此類應(yīng)用，Phasics SID4 定量相位成像相機(jī)可集成在商用或自制光學(xué)顯微鏡裝置上。Phasics 的專業(yè)軟件實(shí)時(shí)輸出光程差(OPD) 圖，可直接轉(zhuǎn)置為表面形貌。Phasics 表面測(cè)量解決方案以其緊湊性和易于集成性而脫穎而出。事實(shí)上，SID4 波前傳感器與傳統(tǒng)科學(xué)相機(jī)一樣緊湊且易于集成。集成可以直接在生產(chǎn)線上或計(jì)量實(shí)驗(yàn)室中進(jìn)行。

2、激光束測(cè)試

Phasics 的波前傳感器基于其專有技術(shù)，可同時(shí)提供 相位和強(qiáng)度測(cè)量，具有高分辨率。SID4 波前傳感器與其光束分析軟件相結(jié)合，可對(duì)激光進(jìn)行全面診斷：波前像差、強(qiáng)度分布、激光光束質(zhì)量參數(shù)(M2、腰圍大小和位置等)。鑒定在單次采集中完成。Phasics 的波前分析儀可放置在光學(xué)裝置的任何位置，無論光束是準(zhǔn)直的還是發(fā)散的。Phasics SID4 波前傳感器適用于任何激光，無論是連續(xù)激光還是脈沖激光，從紫外線到遠(yuǎn)紅外線，包括寬帶可調(diào)光源、拍瓦激光鏈等。

3、鏡頭及組裝測(cè)試

Phasics 的四波橫向剪切干涉 (QWLSI) 波前傳感技術(shù)具有的功能，無需任何中繼光學(xué)器件即可測(cè)量高數(shù)值孔徑光束。這一優(yōu)勢(shì)簡(jiǎn)化了測(cè)量設(shè)置。只需一次拍攝，即可測(cè)量波前誤差 (WFE)和調(diào)制傳遞函數(shù) (MTF) 。物鏡、子組件和最終組件的鑒定完整且易于實(shí)施。事實(shí)上，SID4 波前傳感器只需放置在焦點(diǎn)后幾毫米的發(fā)散光束中即可。測(cè)量后，借助 Phasics 軟件模塊 DesignPro，可以將波前測(cè)量結(jié)果與 Zemax 理論模擬進(jìn)行比較。某些測(cè)試協(xié)議仍然需要雙通測(cè)試配置，這也與 SID4 波前傳感器兼容。

4、定量相位成像

Phasics 引入了光學(xué)顯微鏡的新模式：定量相位成像。Phasics 的 創(chuàng)新技術(shù)依賴于類似相機(jī)的儀器，可 輕松對(duì)活細(xì)胞、組織或任何其他半透明樣本等標(biāo)本進(jìn)行無標(biāo)記成像 。它提供無偽影的定量相位圖像，可準(zhǔn)確測(cè)量有價(jià)值的參數(shù)：形態(tài)、干質(zhì)量、單個(gè)細(xì)胞的密度……它適用于癌癥和干細(xì)胞研究、藥物篩選、血液測(cè)試……智能儀器只需插入任何光學(xué)裝置 即可輕松實(shí)現(xiàn)多模態(tài)，例如相位熒光組合。它是最容易集成的 QPI 技術(shù)，是與人工智能算法相結(jié)合的 高內(nèi)涵篩選平臺(tái)的寶貴資產(chǎn)。