英國愛德華渦輪分子泵STP-XA3203C、STPXA4503C ISO320F

概述

STP-XA3203C 渦輪泵為高真空到 2300 sccm 制程流的制程范圍內提供高性能，并提高所有氣體的吞吐量。 

此泵基于新的平臺設計，提供各種功能以改善熱管理，從而增強在嚴苛制程中的性能，提高大制程流能力，并減少腐蝕和沉積的影響。

其出色的性能既適用于溫和的應用環境，也適用于嚴苛的環境，例如半導體刻蝕、注入、光刻和 LCD 制程。英國愛德華渦輪分子真空泵STP-XA3203C維修

應用

• 金屬（鋁）、鎢和電介質（氧化物）以及多晶硅等離子刻蝕（氯化物、氟化物和溴化物）
• 電子回旋共振 (ECR) 刻蝕
• 薄膜沉積 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
• 濺射
• 離子注入源，射束線泵送端點站
• MBE
• 擴散
• 光致抗蝕劑脫模
• 晶體/晶膜生長
• 晶片檢查
• 負載鎖真空腔
• 科學儀器：表面分析、質譜分析、電子顯微鏡
• 高能物理：射束線、加速器
• 放射線應用：融合系統、回旋

功能和優勢

良好的轉子設計  

• 增強的 H2、N2 和 Ar 性能

• 改進了在高真空到 2300 sccm 制程壓力范圍內的性能

• 免維護

5 軸磁懸浮系統  

• 無污染

• 低振動

創新性轉矩管理  

• 獲得轉矩減少機械裝置

優化的溫度管理系統  

• 高溫 TMS 能力

• 低沉積

• 內置冷卻機械裝置

• 更高的氣體吞吐量（加熱和未加熱）

• 延長壽命

• 可用于嚴苛制程英國愛德華渦輪分子真空泵STP-XA3203C維修

認證  

• 符合 SEMI®，具有 CE 標記，列于 UL 中

技術數據

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荊州太原蘭州烏魯木齊石家莊天津長春吉林英國愛德華渦輪分子真空泵STP-XA4503C保養、STP-XA3203C維修

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一、進口真空泵維修：
1、BOC EDWARDS(愛德華)：GV系列(GV600、GV600-EH4200)、IQDP系列(IQDP80)、QDP系列、DP系列、E1M系列、E2M系列、EH系列、QMB系列、RV系列、ESDP12、GVSP30等。
2、ALCATEL(阿爾卡特)：ADS系列(ADS 602H/P、ADS1802H/P)、ADP系列(ADP122)、ACP系列(ACP28、ACP40)、RHV系列、SD系列、C1系列、C2系列、I系列、H1系列、A系列等。
3、LEYBOLD(萊寶)：SV系列(SV65B等)、SC系列、DIVAC系列、DK系列、DRYVAC系列、WS系列、SP系列、TRIVAC系列、WH/WHU系列等
4、EBARA(易巴拉)：A系列、AV系列、AW系列、AA系列、AAS系列、X系列等。
5、KASHIYAMA：MU系列、SDE系列、SDL系列、KMB系列、NeoDRY系列等。
6、ORION(好利旺)：KRX系列、CBX系列、KRF系列、KHF系列、KHA系列、KRA系列、KHH系列等。
7、BECKER(貝克)：U系列、VT系列、KVT系列、VTLF系列、T系列、DVT系列、DVTLF系列等。
8、RIETSCHLE(里其樂)：VCA/AH/CB/CE/CEH/CH/GD油旋片真空泵系列、CF/F/FD/FDE/FE/FEH/FG/FT/FZ干式旋片真空/壓縮泵系列、VL/DT/KT干式旋片真空/壓縮泵系列等。
9、ULVAC(愛發科)：GLD油旋片真空泵系列、VDN/VSN油選片真空泵系列、PVD油旋片真空泵系列等。
10、VIRIAN(瓦里安)：DS/HS/SD/CD系列油旋片真空泵系列、TS/DS干式真空泵系列等。
11、IWATA（巖田）DVSL-100C/ISP-50/ISP-90/ISP-250C/ISP-500C/ISPC-1000/GVSC-500B/GVSC-501B/
12、HANBELL（漢鐘）PS80/PS160/PS180/PS602/PS902/PS1302/PS1802/PD300/PD500/PD1902/PD2152/PD3052/PD3652

二、進口真空泵配件銷售：
1、類型：真空泵維修包、旋片、軸承、油封、過濾器、轉子、軸、隔板、密封圈、定位銷、控制板等。
2、品牌：BOC EDWARDS(愛德華)、ALCATEL(阿爾卡特)、LEYBOLD(萊寶)、EBARA(依巴拉)、KASHIYAMA、ORION(好利旺)、BECKER(貝克)、RIETSCHLE(里其樂)、ULVAC(愛發科)、VIRIAN(瓦里安)等。

三、進口真空油銷售：
品牌：FOMBLIN真空油、EDWARDS真空油、ADIXEN真空油等。