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北京泰諾鑫源科技有限公司（http://www.tenoyo。。ｃｏｍ）是一家專業(yè)從事實驗設備、分析儀器、耗材、試劑等相關實驗室用品生產的廠家。目前公司主要產品：EasyCoater和SmartCoater系列勻膠機、烤膠機、提拉鍍膜機、電解雙噴減薄儀、低溫恒溫設備等。作為一家為科學研究提供服務的企業(yè)，無論您將新建一個全新的實驗室還是日常的科研工作，泰諾源都能為您提供的產品和滿意的服務。
柜式半導體噴膠機SP200-SE
隨著IC產業(yè)工藝的不斷發(fā)展，疊層封裝逐漸成為技術發(fā)展的主流簡稱“3D”。硅穿孔（TSV）作為3D封裝的重要工藝，越來越受到人們的重視，傳統(tǒng)的涂膠方法不能滿足TSV深孔涂膠要求，我公司研發(fā)的納米噴涂技術，采用進口高精度柱塞泵配合超聲波震蕩霧化方式，將光刻膠均勻涂布在溝槽表面。可滿足主流TSV，MEMS，WLP等工藝制程。
柜式半導體噴膠機SP200-SE噴膠機
- 熱盤加熱及旋轉控制系統(tǒng)
- XY雙電缸運動控制系統(tǒng)
- 膠液微流量平流傳輸系統(tǒng)
- 超聲波霧化噴涂系統(tǒng)
- 圓晶真空吸附和頂升系統(tǒng)
- 高級PLC控制和觸屏操作
- 排廢和抽風系統(tǒng)
柜式半導體噴膠機SP200-SE噴膠機技術參數(shù)：
型號 SP200-SE
Wafer尺寸 200mm以下，向下兼容
熱盤溫度 室溫至200℃，控溫精度±0.5℃，溫度均勻性小于±1%
熱盤電機額定轉速 1000rpm
XY移動zui大速度 X 軸500mm/sec，Y 軸250mm/sec
Pump流速范圍 1ml/min-20ml/min可調
操作系統(tǒng) 人機互動界面PLC控制
噴嘴移動方式 電動機械組合XY電缸
電源 AC220V，50HZ，1.5KW
機器尺寸 800＊600＊1800
重量 55Kg
工作環(huán)境 濕度：20-90%，溫度20-30℃
柜式半導體噴膠機SP200-SE噴膠機主要配置
高精度伺服馬達 1 臺
XY軸電缸 1 SMC
高精度柱塞泵 2 雙泵平流傳輸
超聲波發(fā)生器＋霧化噴頭 1 套 霧化顆粒40微米以下
7寸全彩觸屏 1 只 威綸
特殊設計的熱盤系統(tǒng) 1 套
高效真空和頂升系統(tǒng) 1 套
柜式半導體噴膠機SP200-SE噴膠機工藝指標
噴膠工藝通常的兩種情形和要求
1、AZ5620 （紅膠）配比丙酮，體積比 1:10，噴涂工藝為單臺階圖形。噴涂后一般要求頂部厚度14um左右，底部10um左右，拐角厚度大于4um。
2、另外一種是綠膠，工藝名稱為WLP32，膠的配比是用LSF60配比丙酮而成，通常配比比例為1:8，噴的工藝是雙臺階圖形。綠膠一般頂部要求在15um左右，拐角大于5um，底部12um左右。
設備測試情況
噴樣情況（雙臺階圖形）
噴樣情況（單臺階圖形）
柜式半導體噴膠機SP200-SE噴膠機優(yōu)勢和特點
★使用高精度微流量耐腐蝕柱塞泵，采用雙泵平流的方式進行液體傳輸。精度高、重復性好。
★高頻超聲波霧化噴嘴，霧化顆粒均勻，尺寸小于40um。
★高精密控溫系統(tǒng)，控溫范圍：室溫-200℃，控溫精度±0.5℃。
★專業(yè)的技術服務，提供DEMO試機服務，24小時維修響應。
★提供定制化和特殊要求設計。
北京泰諾鑫源科技有限公司奉行“進取 求實 嚴謹 團結”的方針，不斷開拓創(chuàng)新，以技術為核心、視質量為生命、奉用戶為上帝，竭誠為您提供高性價比的實驗裝備、分析儀器產品及無微不至的服務。如對產品有疑問可直接我公司相關客服人員！
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