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什么是MEMS傳感器？
點擊次數：1536 發布時間：2016-1-28
什么是MEMS傳感器？
zui近，一位美國華裔科學家宋金會實現了世界上*個50納米級的超高分辨率數字圖像傳感器的消息一經披露，就引起了業界廣泛關注。其打破了這個領域數字圖像傳感器像素尺寸為1微米的行業極限，更引來電子、、航天、醫療、激光、信息存儲技術以及有關部門的合作興趣。
MEMS的全稱是微型電子機械系統，是指可批量制作的，將微型機構、微型傳感器、微型執行器以及信號處理和控制電路，直至接口、通信和電源等集于一體的微型器件或系統?？衫斫鉃槔脗鹘y的半導體工藝和材料，用微米技術在芯片上制造微型機械，并將其與對應電路集成為一個整體的技術。所以它是以半導體制造技術為基礎發展起來的一種先進的制造技術平臺。
相對于傳統的機械，它們的尺寸更小，zui大的不超過一個厘米，甚至僅僅為幾微米，其厚度就更加微小。采用以硅為主的材料，電氣性能優良，硅材料的強度、硬度和楊氏模量與鐵相當，密度與鋁類似，熱傳導率接近鉬和鎢。采用與集成電路（IC）類似的生成技術，可大量利用IC生產中的成熟技術、工藝，進行大批量、低成本生產，使性價比相對于傳統“機械”制造技術大幅度提高。
自1990年至今，MEMS傳感器的應用有三波演進：一開始內建在汽車的安全氣囊中，而后則是用于消費性電子內，第三波演進便是物聯網崛起。
在今后5到10年內，消費類MEMS主要應用領域仍然是智能手機以及平板電腦。但是MEMS的應用領域將逐漸擴大，包括正在興起的可穿戴設備、物聯網等。雖然可穿戴設備現在使用MEMS的比例還比較小，目前還不到10%，現在蘋果、三星、華為都已經紛紛推出了一些可穿戴式產品，有點像當初的智能手機剛推出時的狀態，未來肯定會成為MEMS傳感器增長zui快的市場。