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上海維特銳實(shí)業(yè)發(fā)展有限公司
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LC183ML640/557680-06海德漢HEIDENHAIN測(cè)量原理
測(cè)量基準(zhǔn)
海德漢光學(xué)掃描的直線光柵尺或編碼器的測(cè)量基準(zhǔn)都是周期刻線－光柵。
這些光柵刻在玻璃或鋼材基體上。對(duì)于大長(zhǎng)度的光柵尺，用鋼帶作為光柵尺基體。
海德漢公司用以下特別開發(fā)的光刻工藝制造精密光柵。
• AURODUR：在鍍金鋼尺帶上蝕刻?hào)啪€；典型柵距：40 µm
• METALLUR：抗污染的鍍金層金屬柵線；典型柵距：20 μm
• DIADUR：玻璃基體上超硬鉻線（典型柵距：20 μm）或玻璃基體上三維鉻線格柵（典型柵距：8 μm）
• SUPRADUR相位光柵：光學(xué)三維平面格柵；*抗污能力；典型柵距：不超過8 μm
• OPTODUR相位光柵：光學(xué)三維平面格柵，超高反光性能；典型柵距：不超過2 μm
除極小柵距外，由該工藝刻制的光柵擁有優(yōu)異的邊緣清晰度和均勻性。結(jié)合光電掃
描法，邊緣清晰的刻線是輸出高質(zhì)量信號(hào)的關(guān)鍵。母版光柵采用海德漢公司定制的精密刻線機(jī)制造。
測(cè)量法
式測(cè)量是指光柵尺或編碼器在通電時(shí)立即提供位置值并隨時(shí)供后續(xù)電子電路讀取。無需移動(dòng)軸執(zhí)行參考點(diǎn)回零操作。位置信息由一系列碼編排的光柵讀取。單獨(dú)的增量刻軌信號(hào)通過細(xì)分生成位置值，同時(shí)用于生成可選的增量信號(hào)。
