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D07-19C型-D07-19C型質量流量控制器
  • D07-19C型-D07-19C型質量流量控制器
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貨物所在地:北京北京市

更新時間:2025-03-24 05:43:37

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質量流量控制器(MFC)用于對氣體的質量流量進行精密地測量和控制。廣泛用于電子工藝設備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制氣配氣等行業。

 

 

D07-19C型質量流量控制器(D07-19C Mass Flow Controller)

便攜式氣體檢測儀

 

水質檢測儀

 

標 準:
氣體質量流量用氮氣(N2)標定。標準狀態規定為:
標準溫度………………0℃(273.15K)
標準壓強………………101325Pa

輸入和輸出:
輸入電源………………+15V,50mA;-15V,200mA
輸入設定電壓…………0~+5.00V
輸出電壓檢測…………0~+5.00V



技術參數:

 

滿量程流量范圍(N2

5SCCM30SLM

控制范圍

2100F.S.

閥類型(及閥初始狀態)

電磁調節閥(常閉)

準確度

≤10SLM

±1F.S.

10SLM

±2F.S.

線性

≤10SLM

±0.51F.S.

10SLM

±2F.S.

重復精度

±0.2F.S.

溫度系數

Zero:±0.1%F.S./

Span:±0.2%F.S./

響應時間

1sec

工作溫度范圍

545

工作壓差

≤10SLM

0.10.5MPa

10SLM

0.10.3MPa

耐壓

3MPa

漏氣率

1×10-9SCCSHe

密封材料

氟橡膠、聚四氟乙烯、氯丁橡膠

接頭選擇

VCR

1/4”φ4hoseφ6hose

Swagelok

1/8”1/4”φ3φ6mm

電插頭形式

DB15 pin(Male)

抗電磁干擾

CE

重量

1.2Kg

 

 

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