在傳統(tǒng)的層流凈化臺，當手或材料被放置在罩內(nèi)的顆粒可能污染工作區(qū)。由此產(chǎn)生的反沖洗，讓臟空氣進入該區(qū)域。

超凈工作臺氣流

在層流凈化臺無顆粒的空氣質(zhì)量與氣流體積和速度的控制來實現(xiàn)的。任何阻礙將對層流性能顯著影響。障礙物包括處理或置于罩內(nèi)或罩表面材料的工作。

障礙物引起的氣流中斷允許微粒進入工作區(qū)或潔凈室，大幅增加罩內(nèi)的粒子計數(shù)。反沖洗是施加到未過濾室內(nèi)空氣的進入工作區(qū)的總稱，當用戶將手或材料到工作區(qū)域可被創(chuàng)建。

高速回風插槽，可以限度地減少傳統(tǒng)超凈工作臺建設(shè)共同創(chuàng)建反粒子污染。空氣被吸入沿著工件表面的前邊緣和沿在1000 FPM側(cè)壁確保沒有未經(jīng)過濾的空氣進入工作區(qū)位于該高速槽。這些槽從根本上減少顆粒數(shù)從通過引入工件或操作者的手進入工作流創(chuàng)建，因為他們在工作空間的所有前緣回收空氣反沖洗，并且再循環(huán)空氣通過HEPA過濾器，以減少顆粒數(shù)。插槽通過減少污濁空氣擴散進入過濾器進氣延長濾芯使用壽命。

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