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一、動態氣體校準儀工作原理：
動態氣體校準儀主要由質量流量控制器、臭氧發生器、電源、管閥件、控制板及軟件組成。
質量流量控制器用于精確控制零氣和標氣流量，零氣控制采用大流量控制器（10slpm），標氣采用小流量控制器（100sccm）。氣體輸出后通過混合室進行混合，達到所設定控制的濃度
內置的臭氧發生器是由零氣經紫外線照射而生成的，通過改變紫外線光強或零氣的流量來控制臭氧發生的濃度動態氣體校準儀主要由質量流量控制器、臭氧發生器、電源、管閥件、控制板及軟件組成。
二、動態氣體校準儀功能特性：
三、動態氣體校準儀技術特性：
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