· 殘余氣體或泄漏檢測
· 實質上的泄漏或脫附分析
· 除氣研究
· 烘烤周期
· 泵效能
· 腔室/過程氣體污染物
特點：

· 靈敏度PPM,質量數至300amu
· 穩定性（24小時以上，峰高變化小于±0.5%）
· MASsoft軟件控制，或由局域網進行多個系統控制
· 快速顯示柱狀圖、趨勢分析和信號峰
· 混合模式掃描－多個windows窗口顯示信息，例如趨勢、柱狀圖和信號峰
· 同步顯示數據圖，列表
· 同步背景扣除，自動質量數列表
· 數據輸出為ASCII格式，至windows設備
· 即時動態數據交換至其他DDE兼容的windows軟件，例如
Excel、SPC-IV統計過程控制軟件等