原子吸收分光光度計是利用待測元素的共振輻射，通過其原子蒸汽，測定其吸光度的裝置。原子吸收分光光度計又稱原子吸收光譜儀，根據物質基態原子蒸汽對特征輻射吸收的作用來進行金屬元素分析。它能夠靈敏可靠地測定微量或痕量元素。
原子吸收分光光度計的主要技術指標：
(1)波長示值誤差(波長的準確度)與重復性
譜線的理論波長與儀器波長測定讀數的差值稱為波長示值誤差。特定譜線波長的多次測定(一般用3次)中zui大值與zui小值之差為波長重復性。檢定規程要求：原子吸收分光光度計波長示值誤差應不大于0．5nm，波長重復性應優于0．3nm。
(2)分辨率
原子吸收分光光度計儀器的分辨率是鑒別儀器對共振吸收線與鄰近的其它譜線分辨能力大小的一項重要技術指標。一般在規定的光譜通帶下可用特定譜線的半寬度來衡量，也可通過觀察是否實際可分辨某些元素的多條相鄰的譜線。
(3)基線穩定性
基線穩定性是儀器的重要技術指標，它反映整機穩定性狀況。基線穩定性分靜態和動態兩種。
(4)靈敏度
靈敏度為原子吸收分光光度計儀器在單位濃度下獲得的吸光度，亦即采用外標法定量分析中校準曲線的斜率。
(5)精密度(重復性)
精密度反映測量結果的重復性。相對標準偏差能較好地反映測量過程的精密度。因此，原子吸收分析的精密度是用相對標準偏差(RSD)來度量的。通常選取代表性元素在一定濃度水平下多次測定值的相對標準偏差為重復性。檢定規程規定：對于使用中的火焰原子吸收儀器，精密度不大于1．5％；對于石墨爐原子吸收來說，使用中的儀器的精密度不大于7％。
(6)檢出限
檢出限是原子吸收分光光度計zui重要的技術指標。它只反映了在測量中的總噪聲電平大小，是與儀器靈敏度和穩定性有關的綜合性指標。檢出限意味著儀器所能檢出元素的zui低濃度。
