Fusion and Hybrid Bonding Systems

融合和混合鍵合系統(tǒng)

融合或直接晶圓鍵合可通過(guò)每個(gè)晶圓表面上的介電層連接，該介電層用于工程襯底或?qū)愚D(zhuǎn)移應(yīng)用，例如背面照明的CMOS圖像傳感器。

混合鍵合擴(kuò)展了與鍵合界面中嵌入的金屬焊盤的熔融鍵合，從而允許晶片面對(duì)面連接。 混合綁定的主要應(yīng)用是高級(jí)3D設(shè)備堆疊。

EVG 301   單晶圓清洗系統(tǒng)

研發(fā)型單晶圓清洗系統(tǒng)。

EVG 320   自動(dòng)化單晶圓清洗系統(tǒng)

自動(dòng)化的單晶片清洗系統(tǒng)，可有效去除顆粒。

EVG 810LT   低溫™等離子體激活系統(tǒng)

適用于SOI，MEMS，化合物半導(dǎo)體和先進(jìn)基板鍵合的低溫等離子體活化系統(tǒng)。

EVG 850LT   SOI和直接晶圓鍵合的自動(dòng)化生產(chǎn)鍵合系統(tǒng)

自動(dòng)化生產(chǎn)粘合系統(tǒng)，適用于各種融合/分子薄片粘合應(yīng)用。

EVG 850   SOI和直接晶圓鍵合的自動(dòng)化生產(chǎn)鍵合系統(tǒng)

自動(dòng)化生產(chǎn)粘合系統(tǒng)，適用于各種融合/分子薄片粘合應(yīng)用。

GEMINI FB   自動(dòng)化生產(chǎn)晶圓鍵合系統(tǒng)

為精細(xì)對(duì)準(zhǔn)和熔融粘合的集成平臺(tái)。

BONDSCALE™   自動(dòng)化生產(chǎn)熔合系統(tǒng)

啟用3D集成可持續(xù)更多收益。