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桌上型掃描電鏡（mini-SEM）

SEC公司研發生產的桌上掃描電鏡（Mini-SEM）實現了大電鏡的小型化處理，結構緊湊操作便捷，Mini-SEM以其人性化實用性設計及實惠的價格，成為了廣泛應用于以研究開發和品質管理教育等為目的的企事業單位，*，學校，研究所等機構的經濟普及型掃描電鏡。

                       Mini-SEM用戶界面

    掃描電子顯微鏡是用極細的電子束在樣品表面掃描（高速電子轟擊樣品），將產生的各種電子用特制的探測器收集，形成電信號運送到顯像管，在熒光屏上顯示物體，或者將激發出來的特征X光通過能譜儀或者波譜儀進行定量的成分分析的一種分析儀器。

掃描電鏡分辨率與電子在試樣上的小掃描范圍有關，電子束斑越小，電子在試樣上的分辨率越高。在保證束斑足夠小的情況下，電子束還要有足夠的強度。束流太低不能從試樣表面激發足夠的信號，噪聲影響大。

二次電子對形貌敏感。凸起部位亮，凹陷部位暗，景深好，細節清晰。

背散射電子對原子序數敏感，原子序數高的區域能得到更多的背散射電子，相應圖像較亮，可以用來觀察材料成分的分部。

X光：原子被激發會發出X光，每種元素受激發射發出的X光會不同，通過對不同X光進行檢測，就可知道材料中包括什么元素和比例。

背散射探測器受真空度影響不大，可以適用于高真空和低真空模式。

二次電子探頭受真空影響較大，分辨率大大降低。在低真空模式下需要特定的探頭。

應用

• 半導體

薄膜結構及缺陷、材料成分分析、集成電路失效分析、光刻版圖形貌、太陽能電池、顯示面板及半導體封裝焊接等。

• 金屬材料

細微晶體離子形態和結構

• 化學材料-燃料電池

不同型號性能對比：